【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于定向材料沉积的PVD设备，包括：‑容纳材料源的真空密闭外部容器，‑至少两个衬底，其被布置成定义与所述材料源间隔开的衬底平面，‑所述衬底以要被处理的表面面对材料源，其中所述材料源的直径小于，尤其显著小于衬底中任一个的直径。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：J维查特，
申请(专利权)人：欧瑞康先进科技股份公司，
类型：发明
国别省市：列支敦士登;LI
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