【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及微加工部件及其制作方法、以及用于制造该微加工部件的蚀刻设备。 特别地，本专利技术涉及具有曲面的微加工部件。
技术介绍
近些年来，多方面检验了制作微加工部件的技术。例如，为了防止光的表面反射， 提出了在光学元件表面上形成细密不平坦结构(蛾眼结构)的技术(参考例如“OPTICAL AND ELECTRO-OPTICALENGINEERING CONTACT”，第 43 卷，第 11 期(2005), 630-637) 通常，在周期性不平坦形状布置在光学元件表面上的情况下，当光通过时发生衍 射，显著降低透射光的直前分量。然而，在不平坦形状的间距小于透射光的波长的情况下， 不发生衍射。例如，当不平坦形状是长方形时，对于与间距、深度等对应的单波长光，可以获 得有效的防反射效应。本专利技术人提出了基于光盘压模(stamper)成形工艺和蚀刻工艺的组 合的方法，作为用于制作这样的微加工部件的方法(参考例如日本未审查的专利申请公布 第2008-176076号)。该方法可以形成呈钵或椭圆截锥形状的结构。在常见的光盘压模制造工艺中，如下所述制造不平坦图案。首先，通过...
【技术保护点】
一种用于制作微加工部件的方法，所述方法包括以下步骤： 在具有曲面的压模上形成无机抗蚀剂层； 对在所述压模上形成的所述无机抗蚀剂层进行曝光和显影，以便在所述无机抗蚀剂层上形成图案；以及 将在所述无机抗蚀剂层上设置有所述图案的所述压模放置在电极上，并且蚀刻所述压模，以在所述压模表面上形成不平坦形状，以便制造微加工部件，其中，所述电极具有与所述压模的曲面几乎相同或类似的曲面。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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