【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般而言涉及用于隔离和密封气体反应物质的器件。尤其涉及在微电子生产工业中应用的气体纯化器、过滤器和监测器。本专利技术特别地涉及到带有内置隔膜的阀组件的纯化器，用于隔离和密封要纯化的气体，使之与周围环境隔离。用于纯化、过滤或监测气体的各种类型的器件被广泛应用于工业中。例如，由于半导体芯片的几何尺寸已变得更小，用于生产半导体的气体必须是超净的。气体纯化器在微电子工业中已应用了许多年，用以除去这些气体中的分子的或颗粒的杂质。由于用于半导体生产的许多气体是有毒的或有腐蚀性的，如果这些气体暴露到周围环境中，它们就会对环境和健康造成危害。由于被用作纯化器元件的反应材料在使用时被消耗掉，因此气体纯化器是典型用过即弃的器件。此外，在安装时周围环境的气体会进入纯化器，由此而消耗掉其一部分使用寿命。暴露在周围环境中也会由于在气路系统投入使用前必须把潮气和其它杂质从系统中清除出去，而延长了气路系统预处理的时间。因此，存在着这样的需求，即在安装或卸除纯化器过程中，使纯化器与气体供应系统隔离开，并把气体密封在纯化器中。在更换纯化器的过程中，通常是通过使用一对隔离阀来达到隔离...
【技术保护点】
一种用于隔绝和密封气体反应材料的器件，其特征在于，包括：一个壳体，它具有一个入口接头和一个出口接头，这些接头用以把所说的壳体与所供应的气体接通；一种被密封在所说的壳体中的气体反应材料；所说的入口接头和所说的出口接头都包括有操纵装 置，该装置与在所说的壳体中的一个预加载金属隔膜相接触，当所说的器件与所说的供应气体不接通时，被偏置的所说的隔膜与一个金属支座相贴合，从而密封所说的反应材料使之与大气环境隔离；所说的操纵装置包括一条气体通道，用于确保在所说的壳体和所说的供 应气体间的气流流通，所说的操纵装置超越在一端的所说的接头，远离壳体而延伸，以致当所说...
【技术特征摘要】
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