下载用于隔离和密封反应介质的器件的技术资料

文档序号:713029

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一种用于隔绝和密闭气体反应材料的器件,为一种连同预加载的金属隔膜一起的可被操纵的一种新型阀结构。当该器件与气体供应管路分离开的时候,该预加载隔膜的力足以形成气密密封,由此而使该器件的内部与周围环境隔离。...
该专利属于米利波尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过米利波尔公司授权不得商用。

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