柔性基板位置控制设备制造技术

一种处理设备中的柔性基板位置控制设备（１００），该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板（１），并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，它设置有：一对夹持辊（１３１，１３２），夹持基板的上边缘；支撑机构（１４０），可旋转地支撑一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；施力装置（１５０），用于经由支撑机构向一对夹持辊施加压力；以及调节装置（１６０），用于调节由施力装置施加的压力。一对夹持辊具有倾斜度，其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘，且一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。柔性基板位置控制设备能够抑制带状柔性基板的下垂和皱纹的出现，并且在实现高质量的处理同时，能够处理柔性基板在相反方向上的传输。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及柔性基板位置控制设备，尤其涉及在传输柔性基板时在执行诸如膜沉积的处理的处理设备中控制带状柔性基板在宽度方向上的位置的控制设备。
技术介绍
虽然刚性基板通常用于诸如半导体薄膜的薄膜层叠体的基板，但是为了改善生产率并降低成本，由于重量轻并能够成辊地处理所以能提供较大的处理方便，也有使用诸如塑料膜的柔性基板的情况。例如，专利文献1揭示了薄膜层叠体(薄膜光电转换元件)的制造设备，它在柔性基板上层叠并形成不同性质的多个薄膜，并使用在柔性基板的传输方向上排列的多个沉积单元绕成成品辊，同时间歇地以指定间距传输从退绕辊提供的带状柔性基板(聚酰亚胺膜)。专利文献1 日本专利申请特许公开No. 2005-72408
技术实现思路
有两种类型的这种薄膜层叠体制造设备，一种是以水平方位传输时执行沉积，即在传输时带状柔性基板的宽度方向是水平方向，一种是以垂直方位传输时执行沉积，即在传输时带状柔性基板的宽度方向是垂直方向。虽然与前者相比后者提供诸如安装面积小和基板表面更抗污染等优点，但是如果传输跨度变得过长，它将变得难以对抗重力而保持恒定的传输高度，从而导致柔性基板表面出现皱纹或使得柔性基板下垂的本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种处理设备中的柔性基板位置控制设备，该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板，并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，所述控制设备包括：一对夹持辊，夹持基板的上边缘；支撑机构，可旋转地支撑所述一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；施力装置，用于经由支撑机构向所述一对夹持辊施加压力；以及调节装置，用于调节由施力装置施加的压力，其中，所述一对夹持辊具有倾斜度，其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘，且所述一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：横山胜治，
申请(专利权)人：富士电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP