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柔性基板位置控制设备制造技术
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文档序号:7128543
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一种处理设备中的柔性基板位置控制设备(100),该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板(1),并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理,它设置有:一对夹持辊(131,132),夹持基板的上边缘;支撑机构(140...
该专利属于富士电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士电机株式会社授权不得商用。
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