剥离装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备：对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿轴方向移动的多个驱动装置；对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，其中，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元对所述层叠体的一个主面进行支承，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及对贴附在基板上的加强片进行剥离的剥离装置。
技术介绍
近年来，显示面板、太阳电池、薄膜二次电池等电子设备的薄型化、轻量化不断发展，所述电子设备中使用的玻璃基板的薄板化不断发展。由于薄板化而玻璃基板的强度下降时，玻璃基板的处理性下降，因此难以在玻璃基板上形成电子设备用部件(例如薄膜晶体管或滤色器)。相对于此，在专利文献1中公开有在玻璃基板上可剥离地贴附有加强片的层叠体。在玻璃基板上的与加强片侧的相反的一侧的面上形成了电子设备用部件之后，通过将贴附在玻璃基板上的加强片剥离，而能够补充玻璃基板的强度的下降。另外，在专利文献1中记载有为了将贴附在玻璃基板上的加强片剥离而使剃刀的刃等插入玻璃基板与加强片之间来进行初始剥离的方法。通过进行初始剥离，而能够容易进行之后的剥离。另一方面，在专利文献2中提出有一种对贴附在吸附部件上的玻璃基板进行剥离的剥离装置，在玻璃基板上安装板状的挠性部件，并使固定在挠性部件上的多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向伸缩，从而使玻璃基板从两端侧开始依次发生弯曲变形而进行剥ο另外，在专利文献3中记载有一种对贴附在树脂基板上的加强片进行剥离的剥离装置，使旋转体旋转并使旋转体的曲面依次与加强片的上表面接触，从接触的部分开始，使加强片依次发生弯曲变形而进行剥离。专利文献1 国际公开第08/007622号小册子专利文献2 日本特开2000-84844号公报专利文献3 日本特开2004-142878号公报在专利文献1中，未对初始剥离后的剥离方法进行具体说明。因此，考虑使用专利文献2所记载的剥离装置的方法作为初始剥离后的剥离方法。例如，在加强片上安装板状的挠性部件，使固定在挠性部件上的多个杆以每一个杆为单位沿轴方向伸缩，使加强片从一端侧开始(即，从进行了初始剥离的位置开始)依次发生弯曲变形而进行剥离。然而，在专利文献2所记载的剥离装置中，各杆无法沿轴正交方向移动，因此存在妨碍加强片的弯曲变形的情况。加强片的弯曲变形较小时，加强片与基板大致平行地剥离， 因此用于剥离的力增大，剥离变得困难。因此，在加强片含有树脂层且该树脂层与基板密接的情况下，剥离时树脂层有可能凝集破坏而附着在基板上。另一方面，在专利文献3中，由于通过旋转体的曲面形状来决定加强片的弯曲变形的程度，因此难以应对剥离对象的变更
技术实现思路
本专利技术鉴于上述课题而作出，其目的在于提供一种能够容易地将贴附在基板上的加强片剥离且能够容易地应对剥离对象的变更的剥离装置。为了解决上述目的，本专利技术涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿轴方向移动的多个驱动装置；及对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元支承所述层叠体的一个主面，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。而且，本专利技术涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备安装在包含所述基板及所述加强片的层叠体的两个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向移动的多个驱动装置；对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使所述层叠体的一个主面从一端侧开始依次弯曲变形，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种可容易地将贴附在基板上的加强片剥离且可容易地应对剥离对象的变更的剥离装置。附图说明图1是表示第一实施方式的剥离装置的局部剖面侧视图。图2是表示图1的剥离装置的动作的局部剖面侧视图。图3是表示加强片120的一例的侧视图。图4是表示图3的变形例的侧视图。图5是表示层叠体100的一例的侧视图。图6是表示剥离刃20的一例的侧视图。图7 (a)及图7 (b)是表示挠性部件30的一例的整体图。4图8是表示垫40的配置例的俯视图。图9是表示第二实施方式中的剥离装置的局部剖面侧视图。图10是表示图9的剥离装置的动作的局部剖面侧视图。图11(a) 11(f)是表示第二实施方式中的剥离方法的工序图。图12(a) 12(f)是表示第三实施方式中的剥离方法的工序图。具体实施例方式以下，参照附图，对用于实施本专利技术的方式进行说明。(第一实施方式)图1是表示第一实施方式的剥离装置的局部剖面侧视图。图2是表示图1的剥离装置的动作的局部剖面侧视图。剥离装置是将贴附在玻璃基板110上的加强片120剥离的装置。剥离装置对包含玻璃基板Iio及加强片120的层叠体100的第一主面102进行支承并使层叠体100的第二主面104从一端侧开始依次弯曲变形。如此，剥离装置平坦地保持玻璃基板110并使加强片120从一端侧开始依次弯曲变形而进行剥离。在本实施方式中，剥离装置虽然平坦地保持玻璃基板110并使加强片120从一端侧开始依次弯曲变形而进行剥离，但本专利技术并不局限于此。例如，剥离装置也可以平坦地保持加强片120并使玻璃基板110从一端侧开始依次弯曲变形而进行剥离。接下来，对层叠体100进行说明。层叠体100至少由玻璃基板110及加强片120构成。如上所述，在玻璃基板110 上的与加强片120侧相反的一侧的面上形成有电子设备用部件。在此，电子设备是指显示基板、太阳电池、薄膜二次电池等电子部件。显示基板包含TFT-LCD或STN-LCD等液晶面板、有机EL面板、等离子显示器面板、场致发射面板等。玻璃基板110可以为无碱玻璃基板，也可以是碱性玻璃基板，基于适用的电子设备及其制造工序而进行适当选择，但由于热收缩率小而优选无碱玻璃基板。玻璃基板110的厚度并未特别限定，但从薄板化的观点出发，优选0. 3mm以下，更优选0. 15mm以下。为0. 3mm以下时，能够给予玻璃基板110良好的柔性。为0. 15mm以下时，能够将玻璃基板110卷绕成滚筒状。为了抑制加热冷却时的翘曲或剥离，加强片120优选与玻璃基板110的线膨胀系数差的绝对值较小的材料，优选至少包含玻璃片。玻璃片可以由与玻璃基板110相同的材料形成，也可以由不同的材料形成，但优选由相同材料形成。图3是表示加强片120的一例的侧视图。在图3所示的例子中，加强片120仅由玻璃片121构成。这种情况下，能够通过玻璃的硅醇基(Si-OH)彼此的结合力和范德瓦尔斯力等将加强片120与玻璃基板110以可剥离的方式贴附。图4是表示图3的变形例的侧视图。在图4所示的例子中，加强片120由玻璃本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备：对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；分别与所述多个垫连结的多个杆；用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向移动的多个驱动装置；及对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，通过所述支承单元支承所述层叠体的一个主面，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：江畑研一，伊藤泰则，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP