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剥离装置制造方法及图纸
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文档序号:7125810
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本发明涉及一种剥离装置,将贴附在基板上的加强片剥离,具备:对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元;安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件;固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫;分别与所...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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