【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种多晶硅还原铸锭联合生产装置，主要是用三氯氢硅和氢气在高温加热环境中，在发热体表面进行还原反应，熔融析出高纯液态多晶硅，析出的液态多晶硅滴入坩埚中，坩埚中的多晶硅达到规定的量后，通过高温熔化、定向凝固后，直接生产出合格的多晶硅锭，该生产装置能够直接生产出合格的多晶硅锭产品，减少由多晶硅产品到多晶硅铸锭产品之间的生产环节，减少电量消耗，提高生产效率，降低生产成本。
技术介绍
多晶硅生产环节多晶硅是硅产品产业链中的一个极为重要的中间产品，是制造单晶硅、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，因而成为信息产业和新能源产业最基础的原材料。根据纯度的不同，多晶硅通常分为冶金级多晶硅(工业硅)、太阳能级多晶硅(简称“太阳能级硅”) 与电子级多晶硅(简称“电子级硅”)，太阳能级硅的纯度要求是99. 9999% (6个9)以上， 电子级硅的纯度要求是99. 999999999% (11个9)。目前，生产多晶硅主要用下方法1955年西门子公司研究成功开发了用氢气还原三氯氢硅，在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术，并于1957年建厂进行工业规模生产，这就是通常所说的西门子法。随...
【技术保护点】
１．多晶硅还原铸锭联合生产装置主要由含夹套冷却水的生产装置上壳体、含夹套冷却水的生产装置下壳体、混合气进气管、电极、Ｕ型发热体、混合气尾气出气管，坩埚、隔热材料、电加热器、热交换台、伺服电机、驱动丝杠、支架及其他附属部件组成，壳体主体采用不锈钢材质制成，其特征是混合气进气管喷口均匀设置在顶盘上壳体顶部。
【技术特征摘要】
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