【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法、设备及喷头，尤其是指一种其主要涂布的厚度在微米等级，且能均勻的分布在圆形工作件上的气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法、设备及喷头。
技术介绍
目前将高分子溶液涂布在圆形工作件表面的方法大致可分为二种，其一为喷枪喷雾式，其二为刮刀式。该喷枪喷雾式是先将高分子溶液(例如光阻、UV胶)填装于喷枪里，高分子溶液经过喷枪头后形成雾状液滴，再由高压空气喷出附着于圆形工作件上，完成圆形工作件涂布。然而，在该喷枪喷雾式的技术中，因喷枪的出口压力均属于高斯分布(中间较强，两边较弱)，因此，液滴的大小在微米级时，也容易分布不均。故此技术无法涂布出厚度在1微米以下且高均勻度的高分子薄膜。而该刮刀式(请参阅图14)，则主要是利用一平板刮刀7，将圆形工作件8多余的高分子溶液9刮除，利用调整刮刀7和圆形工作件8之间的间隙，来决定高分子溶液9涂布的厚度。然而，在该刮刀式的技术中，刮刀7刮除多余高分子溶液9的设计虽可达到一定的均勻性，但以机械进刀的方式，很难让刮刀7距离圆形工作件8低于10微米下的距离，更无法达到1微米的移动精度，因此，...
【技术保护点】
１．一种气压旋转式圆形工作件表面薄膜涂布方法，其特征在于，所述涂布方法的流程为：步骤一：将涂布原料载入于圆形工作件表面，该表面为圆形工作件的外表面或内表面其中之一；步骤二：旋转机构带动该圆形工作件以其轴心进行自体旋转动作；步骤三：该圆形工作件的径向方向环绕高压环形气流，以利用气流方式挤压该圆形工作件表面预先涂布的涂布原料。
【技术特征摘要】
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