【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种用于纯水干燥硅片的清洗机，包括清洗机机台，机台内具有多道清洗槽，其特征是：机台末道的清洗槽（４）与纯水输送管道连接，纯水输送管道向该清洗槽（４）内输入纯水，在该清洗槽（４）内设置加热管（１），将纯水加热至７０℃～８０℃度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贺洁，葛荣保，
申请(专利权)人：常州天合光能有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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