多晶炉长晶速度自动测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种多晶炉长晶速度自动测量装置，包括用于与多晶炉中的晶锭接触的石英棒；驱动石英棒运动的驱动气缸；安装于所驱动装置上的位置传感器；安装于驱动装置与石英棒之间的第一压力传感器；对测量过程进行参数设定并显示测量结果的人机界面；分别与驱动装置、位置传感器、第一压力传感器和人机界面电连接，并控制驱动装置驱动石英棒上升或下降的PLC。该装置可以使测量人员得以解放，并且结构简单、操作便捷，提高了长晶速度的测量效率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种测量装置，特别是涉及一种在多晶炉长晶过程中，对多晶炉长晶速度进行自动测量的多晶炉长晶速度自动测量装置。
技术介绍
晶体生长速度是决定晶体均勻程度的重要因素之一，为了对其进行控制，通常需要对多晶炉内的晶锭高度进行测量，然后计算出长晶速度。如图1所示，目前，测量多晶炉长晶速度普遍是在测量人员2插拔石英棒3的同时，在石英棒3旁边竖立一个刻度尺1，由测量人员2对石英棒3的位置在刻度尺1上进行读数，通过对所读数值进行分析、计算，从而得出单位时间内石英棒3与坩埚7内的晶锭6接触的位置的变化值实现的。采用这种方法，需要测量人员频繁地到多晶炉的顶上对石英棒的位置在刻度尺上进行读数，并时刻关注石英棒的动向从而及时读取刻度尺上的数值，不仅测量人员的劳动强度大，而且测量准确度难以得到保证。因此，需要一种能够使测量人员得以解放，并能够根据预定条件及时测定出石英棒位置变化数值的自动测量装置。
技术实现思路
为了解决上述问题，本技术的一个目的是提供一种能够使测量人员得以解放，并能够根据预定参数及时测定出石英棒位置变化数值的多晶炉长晶速度自动测量装置。为了实现上述目的，本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置的技术方案如下一种多晶炉长晶速度自动测量装置，包括用于与多晶炉中的晶锭接触的石英棒；用于驱动所述石英棒上下直线运动的驱动装置；安装于所述驱动装置上，用于测量所述驱动装置的运行行程的位置传感器；安装于所述驱动装置与所述石英棒之间，用于判断所述石英棒是否与所述晶锭接触的第一压力传感器；用于对测量过程进行参数设定并显示测量结果的人机界面；分别与所述驱动装置、所述位置传感器、所述第一压力传感器和所述人机界面电连接，用于接收所述人机界面输入的参数以及所述位置传感器和所述压力传感器所采集的信号，并根据接收到的所述第一压力传感器的信号和人机界面输入的参数值控制所述驱动装置驱动所述石英棒上升或下降的PLC。作为优选，所述驱动装置为电动气缸。作为优选，所述人机界面是触摸屏。作为优选，所述人机界面输入的参数包括测量周期和所述第一压力传感器的感应3压力值。作为优选，所述PLC内具有运算单元。作为优选，所述驱动装置与所述石英棒之间还设有用于判断所述石英棒是否与所述晶锭接触的第二压力传感器。作为进一步的优选，所述第二压力传感器的压力感应端与所述第一压力传感器的上表面连接。本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置的有益效果在于第一，应用本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置无需测量人员频繁地到多晶炉的顶上对石英棒的位置在刻度尺上进行读数，使测量人员得以解放。第二，由于所选用的人机界面是触摸屏，使得本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置的结构简单、操作便捷。第三，由于PLC内具有用于对接收到的来自位置传感器和压力传感器的信号进行计算分析，从而得到长晶速度的数值并将该数值显示于人机界面上的运算单元，使得本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置能够直接由人机界面输出多晶炉的长晶速度的数值，从而省去了人工计算分析的步骤，提高了测量效率。附图说明图1为现有技术中对多晶炉长晶速度进行测量方式的示意图。图2为应用本技术的多晶炉长晶速度自动测量装置对多晶炉长晶速度进行测量方式的示意图。图3为本技术的多晶炉长晶速度自动测量装置的PLC控制原理框图。图4为本技术的多晶炉长晶速度自动测量装置的结构示意图。附图标记说明1-刻度尺3-石英棒5-多晶炉7-坩埚9-固定装置11-滑块13-第二压力传感器15-触控屏17-固定连接件具体实施方式下面参照附图详细描述本技术的实施方式。如图2至图4所示，本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置包括石英棒 3、驱动装置、位置传感器和第一压力传感器12，其中，石英棒3竖直设置，其一端可与多晶炉5的坩埚7内的晶锭6接触；驱动装置用于带动石英棒3在上下方向上直线运动，在本实施例中，驱动装置采用电动气缸，电动气缸包括带电的导轨10和在导轨10上滑动的滑块 11，导轨10被固定装置9竖直地固定在多晶炉的顶部，与所述石英棒3平行；位置传感器安装于驱动装置上，用于检测连接在电动气缸上的滑块11的行程，位置传感器可采用常用2-测量人员 4-液面 6-晶锭8-多晶炉长晶速度自动测量装置 10-导轨12-第一压力传感器14-PLC16-信号线的霍尔传感器，具体为在导轨10上安装有磁环(图中未示出)，在滑块11上安装有霍尔传感器(图中未示出)，霍尔传感器穿过磁环，当滑块11带动霍尔传感器运动时，霍尔传感器与磁环之间产生磁感应，从而在霍尔传感器内产生电信号，并将电信号传输至PLC14，采用霍尔传感器检测行程为本领域技术人员的常用技术手段，在此不多做赘述。另外，位置传感器也可采用常用的光栅传感器或其它常用的位置传感器；第一压力传感器12安装于电动气缸与石英棒3之间，所述第一压力传感器12通过固定连接件17与石英棒3连接，并且与 PLC14通过信号线16连接，与石英棒3同步运动，当石英棒3的端部与晶锭6接触时，石英棒3端部受到的晶锭6的压力传至第一压力传感器12，第一压力传感器12感应该压力后向 PLC14发出信号表示石英棒3与晶锭6接触，在本实施例中，第一压力传感器12采用常用的压电式传感器，当其受到压力时产生压电效应，从而发出电信号，第一压力传感器12亦可采用常用的压阻传感器或者应变式传感器；人机界面用于对测量过程进行参数设定并显示测量结果，在本实施例中，需要输入两次测量的时间间隔即测量周期及第一压力传感器12 的感应压力值，当第一压力传感器12感应的压力达到设定的压力值时向PLC14发出信号； PLC14分别与驱动装置、位置传感器、压力传感器和人机界面电连接，用于接收由人机界面输入的参数以及来自位置传感器和第一压力传感器12所采集的信号，并根据接收到的第一压力传感器12的信号和由人机界面输入的参数值控制驱动装置带动石英棒3上升或下降，具体为当PLC14接收到第一压力传感器12传输的信号后，使电动气缸停止运行，同时位置传感器将电动气缸的滑块11在此时的行程传输至PLC14，PLC14控制电动气缸的滑块 11反向运行，带动石英棒3向上运动离开晶锭6，直至最上端的初始位置，经过一个设定的检测周期后，PLC14重新启动电动气缸，使电动气缸的滑块11带动石英棒3向下运动，重复以上步骤。由于滑块11与石英棒3是同步运动的，PLC14记录的滑块11的行程即石英棒 3的行程，石英棒3两次行程之差即为该检测周期内晶锭6生长的高度，以该高度除以检测周期即可得到晶锭6在该周期内的生长速度，同理通过多次测量可得到整个晶锭6生长过程中的生长速度。应用本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置8可自动测量晶锭 6的生长速度，无需测量人员频繁地到多晶炉的顶上对石英棒3的位置在刻度尺上进行读数，使测量人员得以解放。其中，人机界面可以是触摸屏15，使得本技术提供的多晶炉长晶速度自动测量装置8的结构简单、操作便捷。人机界面也可以是键盘与非触控的屏幕组合而成，通过键盘输入参数，通过屏幕读取数据。在上述实施例中，在滑块11与第一压力传感器12之间还设有第二压力传感器13， 所述第二压力传感器13通过信号线16与PLC14连接，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种多晶炉长晶速度自动测量装置，其特征在于，包括：用于与多晶炉中的晶锭接触的石英棒；用于驱动所述石英棒上下直线运动的驱动装置；安装于所述驱动装置上，用于测量所述驱动装置的运行行程的位置传感器；安装于所述驱动装置与所述石英棒之间，用于判断所述石英棒是否与所述晶锭接触的第一压力传感器；用于对测量过程进行参数设定并显示测量结果的人机界面；分别与所述驱动装置、所述位置传感器、所述第一压力传感器和所述人机界面电连接，用于接收所述人机界面输入的参数以及所述位置传感器和所述压力传感器所采集的信号，并根据接收到的所述第一压力传感器的信号和人机界面输入的参数值控制所述驱动装置驱动所述石英棒上升或下降的ＰＬＣ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：何安林，王东，
申请(专利权)人：镇江荣德新能源科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32