下载多晶炉长晶速度自动测量装置的技术资料

文档序号:7030541

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本实用新型提供了一种多晶炉长晶速度自动测量装置,包括用于与多晶炉中的晶锭接触的石英棒;驱动石英棒运动的驱动气缸;安装于所驱动装置上的位置传感器;安装于驱动装置与石英棒之间的第一压力传感器;对测量过程进行参数设定并显示测量结果的人机界面;分别...
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