【技术实现步骤摘要】
本技术涉及太阳能设备制造领域，特别涉及一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组。
技术介绍
多晶硅提纯铸锭炉是物理法制造多晶硅材料的主要设备，也是多晶硅提纯过程工艺除磷的关键设备，高温高真空是除磷的关键工艺，由于在除磷过程中加热温度需达到 1600°C左右，所以大量的硅蒸汽和其它挥发物瞬间挥发，这就要求有高抽速的真空机组来将这些杂质抽走并将真空度保持在极高的状态。现在的真空机组一般采用常规的真空三级泵抽真空系统，即选片泵、罗茨泵、扩散泵，由于高温的瞬间挥发速度快，往往扩散泵达不到起动的要求，使扩散泵不能工作，极限真空度不够，无法达到真空除磷的目的。所以现在的真空机组不能满足当前工业生产的需要。
技术实现思路
为解决普通现有真空机组工作的极限真空度不够，无法达到真空除磷目的的问题，本技术提供以下技术方案一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组，包括4台H-150滑阀泵、2台ZJB-600罗茨泵、2 台ZJB-2500罗茨泵、1台K-1200扩散泵，所述的2台ZJB-600罗茨泵和2台ZJB-2500罗茨泵分为两组，其中1台ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-2500罗茨泵串联在一起，前级为ZJB-2500 罗茨泵，后级为ZJB-600罗茨泵，共串联成两组；其中两台H-150滑阀泵并联，再串联1台 ZJB-600罗茨泵和1台ZJB-1200罗茨泵组成两级抽真空机组两套，再将两套两级抽真空机组并联在K-1200扩散泵上。本技术优点是1、本技术可以使得冷态极限真空达到6. 7X IO-4Pa ；2、本技术有效克服了高温状态硅蒸汽的挥发使得无法启动扩散泵的问题。附图说明图1为本技术结构示意图。具体...
【技术保护点】
１．一种多晶硅提纯铸锭炉真空机组，其特征在于：所述真空机组包括４台Ｈ－１５０滑阀泵、２台ＺＪＢ－６００罗茨泵、２台ＺＪＢ－２５００罗茨泵、１台Ｋ－１２００扩散泵，所述的２台ＺＪＢ－６００罗茨泵和２台ＺＪＢ－２５００罗茨泵分为两组，其中１台ＺＪＢ－６００罗茨泵和１台ＺＪＢ－２５００罗茨泵串联在一起，前级为ＺＪＢ－２５００罗茨泵，后级为ＺＪＢ－６００罗茨泵，共串联成两组；其中两台Ｈ－１５０滑阀泵并联，再串联１台ＺＪＢ－６００罗茨泵和１台ＺＪＢ－１２００罗茨泵组成两级抽真空机组两套，再将两套两级抽真空机组并联在Ｋ－１２００扩散泵上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李荣华，
申请(专利权)人：吴江亿泰光伏设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。