【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种双轴ＭＥＭＳ陀螺仪，其特征在于，双轴ＭＥＭＳ陀螺仪包括底部晶圆、顶部晶圆和ＭＥＭＳ晶圆，底部晶圆上有第一层氧化硅和底部空腔，第一层氧化硅上依次设有第一层金属和第二层氧化硅，第二层氧化硅上有第二层金属密封环和第二层金属导电块，顶部晶圆上有顶部空腔和第三层氧化硅，ＭＥＭＳ晶圆与顶部晶圆键合在一起，第二层金属密封环、第二层金属导电块与ＭＥＭＳ晶圆键合在一起。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邹波，华亚平，
申请(专利权)人：深迪半导体上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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