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本实用新型公开了一种双轴MEMS陀螺仪，双轴MEMS陀螺仪包括底部晶圆、顶部晶圆和MEMS晶圆，底部晶圆上有第一层氧化硅和底部空腔，第一层氧化硅上依次设有第一层金属和第二层氧化硅，第二层氧化硅上有第二层金属密封环和第二层金属导电块，顶部晶圆...
该专利属于深迪半导体(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体(上海)有限公司授权不得商用。

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