【技术实现步骤摘要】
一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺所属领域本专利技术涉及一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺，属于微机电系统
技术介绍
微机械陀螺以其体积小、功耗低、成本低等特性，在惯性导航、姿态参照等军事领域有广泛的应用前景。振动式微机械陀螺的基本工作原理都是基于一种物理现象，即转动坐标系中的运动物体会受到与速度方向垂直的惯性力的作用，即科氏力F = 2mvX ω。其中，m为质量块的质量，ν为质量块运动速度，ω为质量块转动角速度，X表示两个向量的外积符号。科氏力的方向与转动角速度的方向和物体运动速度相垂直，科氏力的大小与转动角速度和物体的运动速度成正比。对于微机械陀螺，用来产生质量块振动的驱动方式有静电驱动、压电驱动和电磁驱动等。梳齿静电驱动方式具有结构简单的优点而被广泛采用。微机械陀螺质量块运动的最大位移总是受限于驱动梳齿间的距离，在质量块运动频率保持一定的情况下，驱动梳齿间距限制了质量块的运动速度，限制了微机械陀螺的灵敏度，限制了微机械陀螺的精度。申请号为“200610012216. 5”的专利提出了“一种谐振式微机械陀螺”，它包括梳状叉指驱动器、平板质量块、...
【技术保护点】
１．一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺，包括质量块（１１）；以质量块（１１）中心为原点，与质量块一边平行的方向为Ｘ方向，与另一方向平行的方向为Ｙ方向，本专利技术提出的放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺在Ｘ方向上关于Ｙ轴对称，在Ｙ轴方向上关于Ｘ轴对称；所述质量块（１１）通过连在其Ｘ方向侧边的折叠梁Ⅱ（１３）与敏感梳齿梁（１２）连接，敏感梳齿梁（１２）通过两端的折叠梁Ⅰ（１０）连接在锚点上；固定在敏感梳齿梁（１２）上的动梳齿与固定在敏感检测电极（１５）上的静梳齿构成敏感检测梳齿对（１４），以完成敏感方向的电容检测；在Ｙ方向侧边上，质量块（１１）通过折叠梁Ⅱ（１３）与平行...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：常洪龙，李小卿，焦文龙，苑伟政，丁继亮，
申请(专利权)人：西北工业大学，
类型：发明
国别省市：87
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