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一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺制造技术
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文档序号:6988121
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本发明公开了一种放大质量块运动速度的电容式微机械陀螺,属于微机电系统技术领域。在Y方向侧边上,该陀螺的质量块11通过折叠梁Ⅱ13与杠杆3连接,所述叠梁Ⅱ13与杠杆3的连接点称为第二驱动传递点;两根杠杆支点梁2将所述杠杆3连接在锚点上,杠杆支...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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