一种多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤装置制造方法及图纸

技术编号:6919033 阅读:315 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤装置,目的在于解决多晶硅生产过程中产生的硅渣在阀门处堆积,以及硅渣对阀芯的磨损,并导致阀门的密封性能降低的问题,在底盘尾气管口设置下沉式过滤器,在底盘尾气管口和尾气管道阀门之间设置Y型过滤器进行二次过滤,其构思巧妙、结构简单、可靠性高,易于拆卸组装,便于维护,能够有效避免硅渣对管道及设备的损害,可靠性高、过滤效果好、除渣效果明显。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多晶硅还原炉设备,特别是一种多晶硅还原炉用尾气硅渣过 ^^ 直 O
技术介绍
为了实现能源和环境的可持续发展,太阳能作为可再生的清洁能源受到广泛的关注,太阳能电池市场得到迅速扩大。多晶硅作为太阳能产业的重要工业原料,其生产工艺的改进具有重要意义。在多晶硅的还原过程中,会出现硅棒异常倒伏。由于硅的脆性,当倒伏发生以后, 会产生硅渣。产生的硅渣掉落在炉底盘的尾气管道中,同时随着炉内反应的进行,部分硅渣被带至管道中阀门的位置,并在阀门处堆积。堆积硅渣会使阀门卡住,从而影响尾气的排出,导致炉内压力升高,威胁工厂的安全。由于硅的硬度为7,当阀门进行开关动作时,沉积在阀门处的硅渣会对阀芯造成磨损,破坏阀门的密封性能,造成尾气的泄漏。当还原炉处于非生产状态时,尾气管道系统的压力高于炉内压力,尾气会通过损坏的阀门泄漏到还原炉内和周围的环境中。由于尾气是强酸性介质,具有强腐蚀性、有毒性和易燃易爆性,会造成设备及管道的腐蚀,同时会给还原厂房正常的生产造成严重影响。目前,多晶硅企业通过提高阀门耐磨性能来防止硅渣的损害。但由于硅的硬度极大,提高阀门耐磨性的方法不能有效解决这个问题。企业在日本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤装置,其特征在于:在底盘尾气管口设置有下沉式过滤器(1),在底盘尾气管口和尾气管道阀门之间设置有Y型过滤器(2)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐予晗
申请(专利权)人:四川瑞能硅材料有限公司
类型:实用新型
国别省市:51

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