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一种多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤装置制造方法及图纸
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下载一种多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤装置的技术资料
文档序号:6919033
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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉用尾气硅渣过滤装置,目的在于解决多晶硅生产过程中产生的硅渣在阀门处堆积,以及硅渣对阀芯的磨损,并导致阀门的密封性能降低的问题,在底盘尾气管口设置下沉式过滤器,在底盘尾气管口和尾气管道阀门之间设置Y型过滤器进行...
该专利属于四川瑞能硅材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川瑞能硅材料有限公司授权不得商用。
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