【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
1.一种基于双位移检测的微纳米尺度原位压痕测试装置,主要由试件宏动调整机构、精密微位移加载单元、精密位移检测单元和金刚石工具头组件构成,其特征在于,所述的试件宏动调整机构和金刚石工具头组件安装在底座(3)上;精密微位移加载单元通过支承座(9)安装在试件宏动调整机构的滑台组件(6)上;精密位移检测单元的两个位移传感器嵌入在精密微位移加载单元中;所述的试件宏动调整机构主要包括步进电机(1)、法兰盘(2)、联轴器(4)、调整旋钮(5)、滑台组件(6)、驱动挡板(7)和固定导轨(8),法兰盘(2)和固定导轨(8)安装在底座(3)上,步进电机(1)通过螺栓安装在法兰盘(2)上,联轴器 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵宏伟,黄虎,史成利,胡磊磊,杨洁,万顺光,马志超,王小月,米杰,张霖,
申请(专利权)人:吉林大学,
类型:实用新型
国别省市:82
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