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本实用新型涉及一种基于双位移检测的微纳米尺度原位压痕测试装置，该装置的技术方案是：试件宏动调整机构和金刚石工具头组件安装在装置的底座上；精密微位移加载单元通过支承座安装在试件宏动调整机构的滑台上；精密位移检测单元的两个位移传感器嵌入在精密微...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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