【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机电一体化的精密科学仪器，特别涉及一种小型化原位纳米压痕测试装置，尤指一种集成宏微驱动、高精密检测、微纳米级力学性能测试和原位观测为一体的高性能微纳米力学测试装置，可以对材料或试件的力学性能做出评价，并能安装于SEM真空腔内实现对压痕过程的原位观测。
技术介绍
原位纳米压痕测试技术是近几年在早期的非原位压痕测试技术基础之上发展起来的一项前沿技术，目前国外也处于探索阶段。原位纳米压痕测试技术是指在金刚石压头压入和压出被测试件表面的过程中通过高分辨率显微成像系统在线观测材料及其制品在载荷作用下的变形损伤过程。而早期的非原位压痕测试技术则无法在线观测材料的损伤过程。相比非原位测试，原位压痕测试能够得到更多有关材料变形损伤的信息。也正是因为这个原因，目前原位压痕测试技术成为国际上的一个研究热点。瑞士联邦理工、美国的 Hysitron公司在原位测试方面做了一些代表性工作。而在国内，非原位压痕测试装置尚未成形，更不用说对原位压痕测试技术的研究。换言之，国内在压痕测试装置方面处于非常落后的状态。由于受到高端科技和军事领域的封锁，国外在高端的压痕测试装置方面对我国...
【技术保护点】
１．一种小型化原位纳米压痕测试装置，其特征在于：包括Ｚ轴宏动调整机构、压电精密驱动压入单元及载荷信号和位移信号检测单元，所述的Ｚ轴宏动调整机构安装在底座（１）上，压电精密驱动压入单元通过Ｕ形连接板（４）连接在Ｚ轴宏动调整机构的微动滑台（３）上，载荷信号和位移信号检测单元的精密位移传感器（８）固连在Ｕ形连接板（４）内部，精密力传感器（１５）安装在支撑板（１６）上，该支撑板（１６）与底座（１）连接，压头（１０）安装在载荷信号和位移信号检测单元的力转换铰链（１４）的上端。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵宏伟，黄虎，袁英堃，米杰，杨洁，万顺光，马志超，王小月，耿春阳，
申请(专利权)人：赵宏伟，
类型：发明
国别省市：82
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