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本发明涉及一种小型化原位纳米压痕测试装置，属于机电一体化的精密科学仪器。主要由Z轴宏动调整机构、压电精密驱动压入单元、载荷信号和位移信号检测单元等组成，其中Z轴宏动调整机构安装在底座上，压电精密驱动压入单元通过U形连接板连接在宏动调整机构的...
该专利属于赵宏伟所有，仅供学习研究参考，未经过赵宏伟授权不得商用。

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