【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光机电一体化精密科学仪器领域，特别涉及一种集驱动、加载、检测、 微纳米级力学性能测试和超精密刻划加工为一体纳米压痕/刻划测试装置。
技术介绍
微纳米力学测试技术是近些年来发展起来的一项前沿科学技术，主要包括纳米压痕(Nanoindentation)、纳米划痕(Nanoscratch)、原子力显微镜(AFM)、微机电系统(MEMS) 专用测试技术(如微拉伸等)及相关支撑技术等。其中又以纳米压痕/划痕测试技术应用的最为广泛，在上述众多领域发挥了重要作用，促进了研究人员对材料变形、损伤机理的深入研究，相关研究成果得到国际顶级期刊的报道。目前国外已有部分商业化的纳米压痕仪，但是由于高精尖领域以及军事领域技术封锁，国外很多高端设备对我国禁运。目前我国在该领域尚未有成形的测试装置，这严重阻碍了我国在相关领域的发展，同时由于缺乏核心技术，很多领域的发展都受到国外仪器的限制。另外这些商业化的仪器体积都比较庞大，结构也比较复杂不能安置在扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱仪、透射电子显微镜(TEM)、光学显微镜等观测仪器下实现材料的原位纳米压痕测试，很多和材料损伤、破...
【技术保护点】
１．一种纳米压痕／刻划测试装置，其特征在于：包括Ｘ、Ｙ精密定位平台、Ｚ轴宏动调整机构、精密压入驱动单元、载荷信号检测单元和位移信号检测单元，其中，所述的Ｘ、Ｙ精密定位平台通过连接板Ⅰ（２）与粗调整机构Ⅲ（１５）相连，该调整机构Ⅲ（１５）固定在底座（１）上，载物台（８）通过力传感器（９）与Ｘ、Ｙ精密定位平台连接；精密压入驱动单元通过Ｚ轴宏动调整机构固定在侧板Ⅰ（３）上，该侧板Ⅰ（３）固定在底座１上；位移信号检测单元通过其侧板Ⅱ（１４）固定在底座１上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵宏伟，黄虎，米杰，杨洁，万顺光，马志超，王小月，袁英堃，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：82
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