多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，涉及多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道，在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。所述过滤器的结构是：过滤器容筒的中间设置有滤网，过滤器容筒的一端密封，另一端设置开口及活动封盖；进口与出口分别设置于不同端面与滤网间，滤网可将从炉体中抽出的固体颗粒杂质挡在滤网的一侧。本实用新型专利技术的有益效果是：抽真空和真空模式运行时，可将从炉体内抽出的石墨粉和固体颗粒杂质通过过滤器，过滤留在过滤器中，过滤器一端有开口，方便清理赃物和更换滤网。这样就能减少炉体内抽搐的赃物对真空泵油的污染，从而减小对真空泵机组的损坏，提高真空泵及真空泵油的使用寿命，降低生产成本。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及多晶硅定向凝固炉生产
，进一步是多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道，尤其是多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道的过滤器。
技术介绍
现有的多晶硅锭定向凝固炉，通过真空泵系统(包括一个罗茨泵和机械前级泵)运行前将炉腔抽成真空状态。抽气过程中炉腔内的石墨粉和其它固体颗粒杂质将随着抽气管道抽到真空泵中，特别是在快速抽气时(此时Vl阀打开)。真空泵机组是滑阀泵，利用润滑油密封的，如果从炉腔内抽出的杂质直接进入真空泵中，会造成真空油的污染，导致泵内机械部件的磨损使真空泵漏油或出现真空泵停机故障。这样以来会造成真空油更换频繁和生产事故，大大降低真空泵机组的使用寿命，所以在抽气管道中间增加一个过滤固体颗粒杂质的过滤器显得非常重要。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，它可克服现有技术的缺陷，可将杂质挡在滤网的一侧，定期清理，确保真空泵设备正常运行；还可以更换，方便快捷；从而有效地延长真空泵设备的使用寿命，降低生产成本。本技术的目的是通过以下方案实现的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。本技术还可通过以下方案进一本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于：在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。

【技术特征摘要】
1.多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。2.根据权利要求1所述的多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，其特征在于过滤器的结构是过滤器容筒的中间设置有滤网，过滤器容筒的一端密封，另一端设置开口及活动封盖；进口与出口分别设置于不同端面与滤网间，滤网可将从炉体中抽出的固体颗粒杂质挡在滤网的一侧。3.根据权利要求1或2所述的多晶硅锭定...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘瑞柱，熊涛涛，印亚峰，
申请(专利权)人：安阳市凤凰光伏科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：41