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本实用新型公开了一种多晶硅锭定向凝固炉抽气过滤器，涉及多晶硅定向凝固炉真空系统抽气管道，在抽气管道中间设置可过滤固体颗粒杂质的过滤器。所述过滤器的结构是：过滤器容筒的中间设置有滤网，过滤器容筒的一端密封，另一端设置开口及活动封盖；进口与出口...
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