晶片腐蚀装置制造方法及图纸

技术编号:6717846 阅读:217 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种晶片腐蚀装置,它包括浸液槽,浸液槽内有支架,支架上有一个传动轴,在浸液槽的一侧有一个电机,电机连接输出齿轮,输出齿轮与传动轴上的输入齿轮啮合,其特征在于上述传动轴上分别有左联动齿轮和右联动齿轮,支架上端的凹槽内放置浸洗罐,浸洗罐两端有轴,一端的轴上有传动齿轮,浸洗罐的表面有孔,上述左联动齿轮和右联动齿轮分别与传动齿轮啮合。本实用新型专利技术的晶片腐蚀装置,使用时,可以将胶合在一起的晶片放入浸洗罐内,腐蚀液由浸洗罐表面的孔进入罐内,并由电机带动浸洗灌转动,均匀快速腐蚀。因此,本实用新型专利技术具有结构简单、效率高的特点,而且分离后的晶片在灌内不散落。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及机械设备,具体的说是一种用于晶片加工的晶片腐蚀装置
技术介绍
晶片在磨圆的加工工序前,需要将晶片叠加,胶合在一起,磨圆工序后,对胶合在一起的晶片进行腐蚀处理,重新分离成单片的晶片,直接将胶合的晶片浸泡在腐蚀液中,存在这效率低,晶片散落的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述问题,提出一种结构简单、效率高的晶片腐蚀装置。本技术的目的是这样实现的本技术的一种晶片腐蚀装置,它包括浸液槽,浸液槽内有支架,支架上有一个传动轴,在浸液槽的一侧有一个电机,电机连接输出齿轮,输出齿轮与传动轴上的输入齿轮啮合,其特征在于上述传动轴上分别有左联动齿轮和右联动齿轮,支架上端的凹槽内放置浸洗罐,浸洗罐两端有轴,一端的轴上有传动齿轮,浸洗罐的表面有孔,上述左联动齿轮和右联动齿轮分别与传动齿轮啮合。本技术的晶片腐蚀装置,使用时,可以将胶合在一起的晶片放入浸洗罐内,腐蚀液由浸洗罐表面的孔进入罐内,并由电机带动浸洗灌转动,均勻快速腐蚀。因此,本技术具有结构简单、效率高的特点,而且分离后的晶片在灌内不散落。附图说明图1为本技术的晶片腐蚀装置的结构示意图。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本技术作进一步说明如图1所示,本技术的一种晶片腐蚀装置,它包括浸液槽1,浸液槽1内有支架 2,支架2上有一个传动轴7,在浸液槽1的一侧有一个电机11,电机11连接输出齿轮10, 输出齿轮10与传动轴7上的输入齿轮9啮合,其特征在于上述传动轴7上分别有左联动齿轮4和右联动齿轮8,支架2上端的凹槽内放置浸洗罐6,浸洗罐6两端有轴3,其中一端的轴3上有传动齿轮5,浸洗罐6的表面有孔,上述左联动齿轮4和右联动齿轮8分别与传动齿轮5啮合。权利要求1. 一种晶片腐蚀装置,它包括浸液槽(1),浸液槽(1)内有支架O),支架( 上有一个传动轴(7),在浸液槽(1)的一侧有一个电机(11),电机(11)连接输出齿轮(10),输出齿轮(10)与传动轴(7)上的输入齿轮(9)啮合,其特征在于上述传动轴(7)上分别有左联动齿轮(4)和右联动齿轮(8),支架( 上端的凹槽内放置浸洗罐(6),浸洗罐(6)两端有轴 (3),其中一端的轴( 上有传动齿轮(5),浸洗罐(6)的表面有孔,上述左联动齿轮(4)和右联动齿轮(8)分别与传动齿轮( 啮合。专利摘要一种晶片腐蚀装置,它包括浸液槽,浸液槽内有支架,支架上有一个传动轴,在浸液槽的一侧有一个电机,电机连接输出齿轮,输出齿轮与传动轴上的输入齿轮啮合,其特征在于上述传动轴上分别有左联动齿轮和右联动齿轮,支架上端的凹槽内放置浸洗罐,浸洗罐两端有轴,一端的轴上有传动齿轮,浸洗罐的表面有孔,上述左联动齿轮和右联动齿轮分别与传动齿轮啮合。本技术的晶片腐蚀装置,使用时,可以将胶合在一起的晶片放入浸洗罐内,腐蚀液由浸洗罐表面的孔进入罐内,并由电机带动浸洗灌转动,均匀快速腐蚀。因此,本技术具有结构简单、效率高的特点,而且分离后的晶片在灌内不散落。文档编号H01L21/02GK201946577SQ20102061815公开日2011年8月24日 申请日期2010年11月23日 优先权日2010年11月23日专利技术者卢巍 申请人:嘉兴鲲鹏电子有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶片腐蚀装置,它包括浸液槽(1),浸液槽(1)内有支架(2),支架(2)上有一个传动轴(7),在浸液槽(1)的一侧有一个电机(11),电机(11)连接输出齿轮(10),输出齿轮(10)与传动轴(7)上的输入齿轮(9)啮合,其特征在于上述传动轴(7)上分别有左联动齿轮(4)和右联动齿轮(8),支架(2)上端的凹槽内放置浸洗罐(6),浸洗罐(6)两端有轴(3),其中一端的轴(3)上有传动齿轮(5),浸洗罐(6)的表面有孔,上述左联动齿轮(4)和右联动齿轮(8)分别与传动齿轮(5)啮合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:卢巍
申请(专利权)人:嘉兴鲲鹏电子有限公司
类型:实用新型
国别省市:33

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