本实用新型专利技术公开了一种抽真空装置包括，其包括一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置，三级抽真空装置并联连接。具体而言，一级抽真空装置包括水环式真空泵(4)。二级抽真空装置包括两台并联的机械真空泵(5、6)。三级抽真空装置包括串联的真空气动挡板阀(7)、油扩散泵(8)和旋片泵(9)。此外，抽真空装置还包括增压泵(10)，增压泵(10)的进气口分别与油扩散泵(8)的出气管和二级抽真空装置的进气管连接，增压泵(10)的出气口与二级抽真空装置串联。采用本实用新型专利技术的抽真空装置后，蒸馏真空系统的真空度可达0.067Pa，达到10-2Pa以上。?（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
１．一种抽真空装置，其特征在于，所述抽真空装置包括一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置，并且所述一级抽真空装置、二级抽真空装置和三级抽真空装置为并联连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘学峰，梁曦彬，
申请(专利权)人：金川集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：62
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