【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
1.一种一体化真空充气主机的抽真空管路,设于主机机箱内,并与主机作业台相连通,其特征在于:包括机械泵、低真空管路和高真空管路,其中,所述的机械泵设于底部内侧;所述的低真空管路包括第一气动阀、第一三通管、第二气动阀和第二三通管,第一气动阀设于机械泵上方,并与机械泵连通,第一三通管水平连通于第一气动阀一端,第二气动阀设于第一三通管上方,并通过第一金属软管相连通,第二三通管水平连通于第二气动阀一端,第二三通管上端与主机作业台连通;所述的高真空管路包括第三气动阀、高真空油扩散泵和第四气动阀,第三气动阀水平连通于第一三通管另一端,高真空油扩散泵设于外侧,其一端通过第二金属软管与第三气动阀另一端连通,第四气动阀水平设于高真空油扩散泵与第二三通管之间,并分别与高真空油扩散泵和第二三通管相连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:邹仲秋,
申请(专利权)人:上海易玺电子科技有限公司,上海嘉定泰和玻璃厂,
类型:实用新型
国别省市:31
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