本发明专利技术提供能以低电阻连接多个驱动部的致动器、喷液头及喷液装置。包括振动板(110)、形成在振动板上方的沿预定方向延伸的第一导电层(122)、覆盖第一导电层的压电体层(124)、形成在压电体层上方的第二导电层(126)、形成在振动板上方及第二导电层上方的金属层(130、132)和电连接于金属层的电极(140)，包括第一导电层、第二导电层及由第一导电层与第二导电层夹着的压电体层而构成驱动部(120)，驱动部在垂直于所述预定方向的方向(A)排列多个，金属层与多个第二导电层交叉并电连接于多个第二导电层。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及致动器、喷液头以及喷液装置。
技术介绍
在喷墨打印机等的喷液装置中，已知为了喷射墨液等的液滴而具备压电元件的致动器。压电元件能够作为例如使振动板移位的驱动部来发挥作用。就这样的致动器而言， 形成有多个压力室，按每个压力室在振动板上配置有驱动部。就具有多个驱动部的致动器而言，一般来说将驱动部的一方的电极作为单体电极，将另一方的电极作为共用电极而电连接多个驱动部。例如，在专利文献1中，将上电极膜作为单体电极，使下电极膜从压力室的长度方向的一端部侧延伸设置到周壁上且在周壁上使其连接而将其作为共用电极，从而使多个压电元件电连接。就具备这样的多个驱动部的致动器而言，优选，将多个驱动部以低电阻连接。专利文献1 日本特开2005-88441号公报
技术实现思路
本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于提供能够将多个驱动部以低电阻连接的致动器。本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于提供包括上述的致动器的喷液头和喷液装置。本专利技术所涉及的致动器，具有振动板；形成在所述振动板的上方的沿着预定方向延伸的第一导电层；覆盖所述第一导电层的压电体层；形成在所述压电体层的上方的第二导电层；形成在所述振动板的上方以及所述第二导电层的上方的金属层；和电连接于所述金属层的电极，驱动部包括所述第一导电层、所述第二导电层和由所述第一导电层与所述第二导电层夹着的所述压电体层，所述驱动部在垂直于所述预定方向的方向上配置有多个，所述金属层与多个所述第二导电层交叉并电连接于多个所述第二导电层。根据这样的致动器，通过所述金属层能够电连接多个所述第二导电层，所以能够将多个所述驱动部以低电阻连接。另外，本专利技术所涉及的记载中，使用“上方”这样的文字，表示例如“在特定的部件 (下面称为“A”)的“上方”形成其他的特定的部件(下面称为“B”)”等等。在本专利技术所涉及的记载中，在该例这样的情况中包括在A上直接形成有B这样的情况和在A上隔着其他的部件而形成有B这样的情况，而使用“上方”这样的文字。在本专利技术所涉及的致动器中，所述金属层可以形成多个。根据这样的致动器，能够将多个所述驱动部以更低的电阻连接。在本专利技术所涉及的致动器中，多个所述金属层中的第一金属层，可在所述第二导电层的上方位于所述第二导电层的一方的端面侧，多个所述金属层中的第二金属层，可在所述第二导电层的上方位于所述第二导电层的另一方的端面侧。根据这样的致动器，能够抑制所述第二导电层的端面附近的所述压电体层的变形。在本专利技术所涉及的致动器中，所述第一金属层具有在相邻的所述驱动部之间形成并朝向所述一方的端面侧延伸的第一延伸部，所述第一延伸部电连接于所述电极。根据这样的致动器，能够将多个所述驱动部以更低的电阻连接。在本专利技术所涉及的致动器中，所述第二金属层可具有在相邻的所述驱动部之间形成并朝向所述另一方的端面侧延伸的第二延伸部。根据这样的致动器，能够抑制由于仅所述振动板的所述第一延伸部周边的刚性增大所引发的应力集中。在本专利技术所涉及的致动器中，所述电极、所述第一金属层以及所述第二金属层可具有层叠有镍-铬合金和金的结构。根据这样的致动器，能够简化制造工序。本专利技术所涉及的喷液头，其包括本专利技术所涉及的致动器；和与喷嘴孔连通并通过致动器的工作而使容积变化的压力室。根据这样的喷液头，包括本专利技术所涉及的致动器，所以能够将多个所述驱动部以低电阻连接。本专利技术所涉及的喷液装置，其包括本专利技术所涉及的喷液头。根据这样的喷液装置，包括本专利技术所涉及的喷液头，所以能够将多个所述驱动部以低电阻连接。附图说明图1是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的分解立体图。 图2(A)是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的要部的俯视图。 图2(B)是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的要部的截面图。 图2(C)是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的要部的截面图。 图2(D)是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的要部的截面图。 图3是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的制造工序的截面图。 图4是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的制造工序的截面图。 图5是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的制造工序的截面图。 图6是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的制造工序的截面图。 图7是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液头的制造工序的截面图。 图8是模式性地表示本实施方式所涉及的喷液装置的立体图。 符号说明1硅基板10流路形成板11压力室12壁部13供给路径14连通路径15贮存器20 喷嘴板21喷嘴孔40密封板41 区域100致动器101金属膜 102层110振动板 120驱动部 122第一导电层123a 第一导电部 12 第二导电部124压电体层 12 顶面124b 侧面125a第一区域 125b第二.区域126第二导电层126a第一端面 126b第二-端面130第一金属层131第一延伸部 132第二-金属层133第二延伸部140电极(共用电极)150开口部160引线电极162 导电部 1000 喷液头 1010 喷头单元驱动部1020装置本体 1021 托架 1022 排出口1030喷头单元 1031 墨盒 1032 滑架1041滑架马达 1042往复运动机构 1043 同步带1044滑架导引轴 1050供纸部 1051供纸马达1052供纸辊 1060控制部 1070操作面板10000喷液装置具体实施例方式以下，对于本专利技术的优选的实施方式，参照附图说明。1、致动器以及喷液头首先，对本实施方式所涉及的致动器100以及喷液头1000进行说明。这里，作为致动器100的例子，对于将致动器100用到喷液头1000中的情况进行说明。另外，致动器 100的用途不限定于喷液头。图1是模式性地表示使用了本实施方式所涉及的致动器100的喷液头1000的分解立体图。图2(A)是模式性地表示作为喷液头1000的要部的流路形成板10、致动器100 的俯视图。图2(B)是图2(A)的II B-II B线截面图。图2(C)是图2(A)的II C-II C线截面图。图2(D)是图2(A)的II D- II D线截面图。喷液头1000，如图1以及图2所示包括致动器100 ；和与喷嘴孔21连通并通过致动器100的工作而使容积变化的压力室11。喷液头1000，例如还可包括流路形成板10、 喷嘴板20和密封板40。致动器100可包括振动板110、驱动部120、金属层(第一金属层 130、第二金属层132)、电极(下面也称为“共用电极”)140和引线电极160。驱动部120可包括第一导电层122、第二导电层126、以及由第一导电层122和第二导电层1 夹着的压电体层IM。流路形成板10具有压力室11。流路形成板10，如图1所示具有构成压力室11的侧壁的壁部12。流路形成板10可以具有经由供给路径13以及连通路径14而连通于压力室11的贮存器15。在贮存器15，可以形成有贯通孔16，可以通过贯通孔16从外部对贮存器15内供给液体。通过对贮存器15内供给液体，能够经由供给路径13以及连通路径14将液体供给到压力室11。对压力室11的形状没有特别限定。压力室11的形状可以是例如俯视为平行四边形，也可以是矩形。压力室11的数量也没有特别限定，可以是一个也可以设置多个。流路形成板10的本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种致动器，其包括：振动板；形成在所述振动板的上方的、沿着预定方向延伸的第一导电层；覆盖所述第一导电层的压电体层；形成在所述压电体层的上方的第二导电层；形成在所述振动板的上方以及所述第二导电层的上方的金属层；和与所述金属层电连接的电极，包括所述第一导电层、所述第二导电层以及由所述第一导电层与所述第二导电层夹着的所述压电体层而构成驱动部，所述驱动部在垂直于所述预定方向的方向上排列有多个，所述金属层与多个所述第二导电层交叉并与多个所述第二导电层电连接。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：平井荣树，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。