致动器、喷液头以及喷液装置制造方法及图纸

技术编号:6677680 阅读:220 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供能以低电阻连接多个驱动部的致动器、喷液头及喷液装置。包括振动板(110)、形成在振动板上方的沿预定方向延伸的第一导电层(122)、覆盖第一导电层的压电体层(124)、形成在压电体层上方的第二导电层(126)、形成在振动板上方及第二导电层上方的金属层(130、132)和电连接于金属层的电极(140),包括第一导电层、第二导电层及由第一导电层与第二导电层夹着的压电体层而构成驱动部(120),驱动部在垂直于所述预定方向的方向(A)排列多个,金属层与多个第二导电层交叉并电连接于多个第二导电层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及致动器、喷液头以及喷液装置
技术介绍
在喷墨打印机等的喷液装置中,已知为了喷射墨液等的液滴而具备压电元件的致动器。压电元件能够作为例如使振动板移位的驱动部来发挥作用。就这样的致动器而言, 形成有多个压力室,按每个压力室在振动板上配置有驱动部。就具有多个驱动部的致动器而言,一般来说将驱动部的一方的电极作为单体电极,将另一方的电极作为共用电极而电连接多个驱动部。例如,在专利文献1中,将上电极膜作为单体电极,使下电极膜从压力室的长度方向的一端部侧延伸设置到周壁上且在周壁上使其连接而将其作为共用电极,从而使多个压电元件电连接。就具备这样的多个驱动部的致动器而言,优选,将多个驱动部以低电阻连接。专利文献1 日本特开2005-88441号公报
技术实现思路
本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于提供能够将多个驱动部以低电阻连接的致动器。本专利技术的几个方式所涉及的目的之一在于提供包括上述的致动器的喷液头和喷液装置。本专利技术所涉及的致动器,具有振动板;形成在所述振动板的上方的沿着预定方向延伸的第一导电层;覆盖所述第一导电层的压电体层;形成在所述压电体层的上方的第二导电层;形成在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器,其包括:振动板;形成在所述振动板的上方的、沿着预定方向延伸的第一导电层;覆盖所述第一导电层的压电体层;形成在所述压电体层的上方的第二导电层;形成在所述振动板的上方以及所述第二导电层的上方的金属层;和与所述金属层电连接的电极,包括所述第一导电层、所述第二导电层以及由所述第一导电层与所述第二导电层夹着的所述压电体层而构成驱动部,所述驱动部在垂直于所述预定方向的方向上排列有多个,所述金属层与多个所述第二导电层交叉并与多个所述第二导电层电连接。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:平井荣树
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:JP

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