【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具备压电元件的液体喷射头、液体喷射装置、压电元件以及压电材料,该压电元件包括使与喷嘴开口连通的压力产生室产生压力变化的第1电极、压电体层以及 第2电极。
技术介绍
作为液体喷射头所使用的压电元件,有由2个电极夹持压电体层而构成的结构, 该压电体层包含呈现电机械转换功能的压电材料、例如结晶化的电介质材料。这样的压电 元件,作为例如挠曲振动模式的致动器装置而搭载于液体喷射头。作为液体喷射头的代表 例,例如,有下述的喷墨式记录头由振动板构成与排出墨滴的喷嘴开口连通的压力产生室 的一部分,通过压电元件使该振动板变形而对压力产生室的墨加压,而从喷嘴开口排出为 墨滴。搭载于这样的喷墨式记录头的压电元件,例如有下述结构遍及振动板的表面整体、 通过成膜技术形成均勻的压电材料层,通过光刻法将该压电材料层切分为与压力产生室对 应的形状,以按每一压力产生室独立的方式形成压电元件。对于这样的压电元件所使用的压电材料,要求高的压电特性(变形量),作为代表 例,例如举出钛酸锆酸铅(PZT)(参照专利文献1)。特开2001-223404号公报但是,在前述的钛酸锆酸铅中包含铅,从 ...
【技术保护点】
1.一种液体喷射头,其特征在于,具备:压力产生室,其与喷嘴开口连通;以及压电元件,其具备第1电极、在前述第1电极上形成的压电体层和在前述压电体层上形成的第2电极;其中,前述压电体层包含钙钛矿型复合氧化物并呈现电场感应相变,该钙钛矿型复合氧化物包含Bi、La、Fe以及Mn。
【技术特征摘要】
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