本发明专利技术提供液体喷射头、液体喷射头单元以及液体喷射装置，能够抑制压电元件和间隔壁的串扰、抑制电压下降、抑制着墨位置的偏移、并且使液体喷射特性均一化而提高打印质量。具备具有经由振动板设置在流路形成基板的一面侧的作为单独电极的第一电极、压电体层、以及作为共通电极的第二电极的压电元件，由第一电极和第二电极规定的压电元件的实质性的驱动部亦即压电体能动部设置在与各压力产生室对置的区域，在与压电元件的间隔壁对置的区域中设置有第二电极和压电体层被除去的开口部，设置在流路形成基板上的配线电极和第二电极通过设置在各压电体能动部之间的共通引线电极连接，该共通引线电极至少跨越开口部内的间隔壁上设置。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及从喷嘴开口喷射液体的液体喷射头、液体喷射头单元、以及液体喷射装置，特别地，涉及作为液体喷出墨水的喷墨式记录头、喷墨式记录头单元、以及喷墨式记录装置。
技术介绍
在液体喷射头中，存在如下的喷墨式记录头在流路形成基板的一面侧经由振动板设置有压电元件，在上述流路形成基板排列设置有由间隔壁划分的压力产生室，该压力产生室与喷嘴开口连通，利用压电元件的驱动使压力产生室内产生压力变化，从而从喷嘴开口喷出墨水滴。作为这种喷墨式记录头，提出有如下的喷墨式记录头针对每个压力产生室将压电元件的位于振动板侧的第一电极分开而形成单独电极，使第二电极跨越多个压力产生室连续而形成共通电极(例如参照专利文献1)。并且，在喷墨式记录头中，由于各个压电元件的一方的电极形成为针对各个压电元件共通设置的共通电极，因此，当同时驱动多个压电元件而一次喷出多个墨水滴时，存在发生电压下降而压电元件的变位量变得不稳定，墨水喷出特性下降的问题。并且，越是设置在离外部配线所连接的端子部远的位置的压电元件，对该压电元件施加的电压越容易降低。为了解决这种问题，提出有如下的喷墨式记录头跨越压力产生室的排列设置方向设置配线电极，并利用共通引线电极连接第一电极和配线电极，上述共通引线电极是以相对于多个压电元件设置一条的比例设置的(例如参照专利文献2)。日本特开2009-172878号公报(参照图2和图4)日本特开2007-11拟65号公报但是，在像专利文献1那样将第一电极形成为单独电极、将第二电极形成为共通电极的情况下，考虑跨越多个压力产生室连续地设置压电体层和第二电极的结构，但是，存在如下的问题在相邻的压电元件之间连续的压电体层和第二电极会阻碍压电元件的变位，从而无法获得期望的变位特性，即产生所谓的压电元件的串扰(cross talk)。因此，当在形成压力产生室的间隔壁上形成将压电体层和第二电极除去后的开口部时，间隔壁的刚性下降。特别地，当由于喷嘴开口的高密度化导致间隔壁的厚度变薄时， 存在如下的问题间隔壁的刚性显著下降，由于压力产生室的压力变动导致间隔壁变形，从而压力变动传递至相邻的压力产生室，从而产生着墨位置偏移或墨水喷出特性下降的所谓的间隔壁的串扰。
技术实现思路
鉴于这种情形，本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制压电元件和间隔壁的串扰、 能够抑制电压下降、能够抑制着墨位置偏移、并且能够使液体喷射特性均一化从而能够提3高打印质量的液体喷射头、液体喷射头单元、以及液体喷射装置。用于解决上述课题的本专利技术的一个方面提供一种液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具备流路形成基板，在该流路形成基板沿着第一方向并列设置有由间隔壁划分的多个压力产生室，上述压力产生室与喷射液体的喷嘴开口连通；以及压电元件，该压电元件具有第一电极、压电体层、以及第二电极，上述第一电极经由振动板设置在该流路形成基板的一面侧，上述压电体层设置在该第一电极上，上述第二电极设置在该压电体层上，上述压电元件的上述第一电极是针对各个上述压力产生室设置的单独电极，并且，上述第二电极是跨越多个压电元件连续设置的共通电极，由上述第一电极和第二电极规定的上述压电元件的实质性的驱动部亦即压电体能动部设置在与各个压力产生室相对置的区域，在上述压电元件的与上述间隔壁相对置的区域中，上述第二电极和上述压电体层被除去而形成的开口部设置成上述开口部在与上述第一方向交叉的第二方向比上述压电体能动部短， 并且，上述开口部的宽度比上述间隔壁的上述第一方向的厚度宽，在并列设置的上述压电体能动部的列的上述第二方向的至少一方设置有配线电极，该配线电极沿着该压电体能动部的并列设置方向设置，上述配线电极和上述第二电极借助设置在各个压电体能动部之间的共通引线电极连接，并且，该共通引线电极至少跨越上述开口部内的间隔壁上而设置。在上述方面中，通过将共通引线电极设置在各个压电体能动部之间，能够降低第二电极的实质性的电阻值，从而能够抑制由电压下降导致的液体喷射特性的下降和偏差。 并且，通过将共通引线电极设置在开口部的间隔壁上，能够提高间隔壁的刚性，能够抑制间隔壁的串扰，并且，能够减薄间隔壁，从而能够实现压力产生室的高密度化。此处，优选上述共通引线电极以比上述间隔壁的厚度窄的宽度形成在与上述开口部相对置的区域中。由此，能够抑制共通引线电极阻碍由压电体能动部的驱动导致的振动板的变位的情况，从而能够抑制液体喷射特性的下降。并且，优选上述配线电极设置在并列设置的上述压电元件的列的上述第二方向的两侧，上述第二电极经由上述共通引线电极与上述压电元件的上述第二方向的两侧的上述配线电极电连接。由此，能够利用配线电极进一步降低第二电极的实质性的电阻值，能够缩窄配线电极的宽度，从而能够使喷头小型化。进一步，本专利技术的其他方面提供一种液体喷射头单元，其特征在于，该液体喷射头单元具备多个上述方面的液体喷射头。在上述方面中，能够实现如下的液体喷射头单元能够抑制压电元件和间隔壁的串扰、能够抑制电压下降、能够抑制着墨位置的偏移、并且能够使液体喷射特性均一化从而能够提高打印质量。并且，本专利技术的其他的方面提供一种液体喷射装置，其特征在于，该液体喷射装置具备上述的方面的液体喷射头单元或者是液体喷射头。在上述方面中，能够实现如下的液体喷射头单元能够抑制压电元件和间隔壁的串扰、能够抑制电压下降、能够抑制着墨位置的偏移、并且能够使液体喷射特性均一化从而能够提高打印质量。附图说明图1是实施方式1所涉及的记录头的分解立体图。图2是实施方式1所涉及的记录头的主要部分俯视图及其放大图。图3是实施方式1所涉及的记录头的剖视图。图4是实施方式1所涉及的记录头的剖视图。图5是实施方式1所涉及的记录头的剖视图。图6是将实施方式2所涉及的记录头的主要部分放大后的俯视图。图7是一个实施方式所涉及的记录装置的概要图。标号说明I...喷墨式记录头(液体喷射头)；II...喷墨式记录装置(液体喷射装置)； 1...喷墨式记录头单元(液体喷射头单元)；10...流路形成基板；11...间隔壁；12...压力产生室；20...喷嘴板；30...保护基板；40...柔性基板；50...振动板；51...弹性膜； 52...绝缘体膜；60...第一电极；70...压电体层；80...第二电极；90...单独引线电极； 9U91A. · ·共通引线电极；100. · ·歧管；200,201. · ·配线电极；300. · ·压电元件；301. · ·开口部；320...压电体能动部；330...压电体非能动部。具体实施例方式以下，根据实施方式对本专利技术进行详细说明。(实施方式1)图1是本专利技术的实施方式1所涉及的作为液体喷射头的一例的喷墨式记录头的分解立体图，图2是喷墨式记录头的流路形成基板的主要部分俯视图及其放大图，图3是沿着图2的A-A’线的剖视图，图4是沿着图2的B-B’线的剖视图，图5是沿着图2的C-C’线的剖视图。如图1所示，由间隔壁11划分的多个压力产生室12沿着宽度方向(短边方向、本实施方式的第一方向)排列设置于构成喷墨式记录头I的流路形成基板10。并且，在流路形成基板10、在压力产生室12的长度方向一端部侧设置有与各个压力产生室12连通的墨水供给路13和连通路14。在连通路14的外侧设置有与各本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种液体喷射头，其特征在于，所述液体喷射头具备：流路形成基板，在该流路形成基板沿着第一方向并列设置有由间隔壁划分的多个压力产生室，所述压力产生室与喷射液体的喷嘴开口连通；以及压电元件，该压电元件具有第一电极、压电体层、以及第二电极，所述第一电极经由振动板设置在该流路形成基板的一面侧，所述压电体层设置在该第一电极上，所述第二电极设置在该压电体层上，所述压电元件的所述第一电极是针对各个所述压力产生室设置的单独电极，并且，所述第二电极是跨越多个压电元件连续设置的共通电极，由所述第一电极和第二电极规定的所述压电元件的实质性的驱动部亦即压电体能动部设置在与各个压力产生室相对置的区域，在所述压电元件的与所述间隔壁相对置的区域中，所述第二电极和所述压电体层被除去而形成的开口部设置成：所述开口部在与所述第一方向交叉的第二方向比所述压电体能动部短，并且，所述开口部的宽度比所述间隔壁的所述第一方向的厚度宽，在并列设置的所述压电体能动部的列的所述第二方向的至少一方设置有配线电极，该配线电极被沿着该压电体能动部的并列设置方向设置，所述配线电极和所述第二电极借助设置在各个压电体能动部之间的共通引线电极连接，并且，该共通引线电极至少跨越所述开口部内的间隔壁上而设置。...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：高岳，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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