本发明专利技术提供能够减少液体在压电板(4)形成的槽(5)内部的沉淀、迅速排出混入槽(5)内部的异物的液体喷射头(1)。具备层叠具有喷嘴(3)的喷嘴板(2)、与它接合的压电板(4)、具有液体供给孔(9)及液体排出孔(10)的盖板(8)的结构，压电板(4)的多个细长的槽中的较深的深槽(5a)和较浅的浅槽(5b)交互地邻接排列，深槽(5a)的长度方向而且深度方向的剖面，具有朝着深度方向凸出的凸状，在凸状的顶部中，深槽(5a)和喷嘴(3)连通，盖板关闭在压电板的一个面上开口的浅槽(5b)的开口部，连通深槽(5a)和液体供给孔及液体排出孔。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及从喷嘴喷出液体后在被记录介质上形成图像或文字或者薄膜材料的 液体喷射头、使用它的液体喷射装置及液体喷射头的制造方法。
技术介绍
近几年来，向记录纸等喷出墨滴从而描绘文字、图形并加以记录，或者向元件基板 的表面喷出液体材料而形成功能性薄膜的喷墨方式的液体喷射头、使用该喷射头的液体喷 射装置被广泛利用。该方式通过供给管，由液体罐向液体喷射头供给油墨或液体材料，再从 液体喷射头的喷嘴喷出油墨而记录文字或图形，或者喷出液体材料而形成规定形状的功能 性薄膜。图9是专利文献1所述的这种喷墨头100的示意性的剖面图。喷墨头100具备上 盖125、由压电体构成的PZT片103和底盖137等3层结构。上盖125具备用于喷出小滴油 墨的喷嘴127。在PZT片103的上面，形成由剖面形状成为向底侧凸出的细长的槽构成的油 墨通道107。油墨通道107被朝着与长度方向正交的方向并列地形成多个，邻接的油墨通道 107之间，被侧壁113分开。在侧壁113的上部侧壁面，形成电极115。在邻接的油墨通道 107的侧壁面上，也形成电极。这样，侧壁113就被在邻接的油墨通道的侧壁面上形成的未 图示的电极和电极115夹住。油墨通道107和喷嘴127连通。在PZT片103上，从背面侧起形成供给管道132和 排出管道133，在其两端部附近和油墨通道107连通。从供给管道132供给油墨，从排出管 道133排出油墨。在油墨通道107的左端部及右端部的PZT片103的表面，形成凹部129。 在凹部129的底面形成电极，与在油墨通道107的侧壁面上形成的电极115电性导通。连 接端子134被纳入凹部129中，与在凹部129的底面形成的未图示的电极电连接。图10示出图9所示的部分AA的示意性的剖面图。各侧壁113a 11 划分油墨 通道107a 107e，以夹住各侧壁113a 11 的两侧面的方式设置着驱动用的电极al、 a2. ..el、e2。各电极al、a2. . . el、e2与图9所示的右侧或左侧的电极端子134连接。各 油墨通道107a 107e与排出管道133连通，从未图示的供给管道132供给油墨，从排出管 道133排出。该喷墨头100的动作如下从供给管道132供给的油墨充满油墨通道107，从排出 管道133排出。就是说，油墨通过供给管道132、油墨通道107及排出管道133地进行循环 流动。例如驱动油墨通道107a时，使电极a2和bl成为共同的低电位，将驱动用的高电压 施加给电极al和1^2。于是，侧壁113a和11 就在压电厚度滑移效应的作用下变形，使油 墨通道107a的容积变化，从喷嘴127喷射出油墨。这时，为了使油墨从油墨通道107a喷射 出来，而使用邻接的油墨通道107b的电极1^2。因此，不能够和油墨通道107a同时独立地 驱动邻接的油墨通道107b。这时，只能够隔一个地独立驱动油墨通道107a、107c、107e。例如使油墨通道107c的电极c2和dl成为共同的、将驱动电压施加在电极cl和d2而喷射油墨。该油墨喷出方法，使油墨经由供给管道132和排出管道133而始终循环。因此，即 使气泡或灰尘等异物混入油墨通道107的内部，也能够迅速地将这些异物向外部排出，所 以能够防止出现喷嘴堵塞不能喷射出油墨或者字迹浓度不勻之类的问题。专利文献1 日本特表2000-512233号公报可是，在上述图9的现有技术的例子中，在油墨通道107的长度方向的两端附近形 成供给管道132和排出管道133之际，需要高超的技术。在PZT片103的表面并列多个地 形成的油墨通道107，例如槽的宽度为70 80 μ m,槽的深度为300 400 μ m,槽的长度为 数mm 10mm，划分邻接的油墨通道107的壁的厚度为70 80 μ m。该油墨通道107的槽， 是使较薄的圆盘的外周部埋入金刚石等磨料的切割刀片高速旋转、磨削而形成的。因此，槽 的剖面成为朝着深度方向凸出的凸状。特别是在槽的长度方向的两端附近，被转印出磨削 用刀片的外形形状。作为形成图9所示的油墨通道107的方法，考虑首先形成多个槽然后再形成供给 管道132和排出管道133的方法时，需要使供给管道132和排出管道133在多个槽的底部 中连通。可是，在槽的长度方向的两端附近，底面并不平坦。因此，与槽的底面匹配地形成 供给管道132和排出管道133非常困难。另外，从背面侧磨削PZT片103时，槽最深的部分 首先开口，该开口部逐渐扩大。可是，槽的底面局部开口时，该开口部附近的侧壁就得不到 底部的支撑。因此，难以不损坏底部开了 口的槽的较薄的侧壁113地磨削供给管道132和 排出管道133。另外，在划分槽的侧壁上还形成电极。从背面侧较深地磨削PZT片103时， 在槽的侧壁上形成的电极也被磨削，致使电极的电阻增大，带来驱动侧壁的电力产生偏差 等问题。而且，如果要在槽的底面平坦的区域形成供给管道132和排出管道133，油墨就不 能够在槽的长度方向的两端部循环。因此，产生油墨的沉淀，气泡或灰尘残留在该沉淀中， 会影响本方式的这样的优点使油墨循环，从而将异物从油墨通道107中除去，防止喷嘴 127堵塞等。另一方面，可以考虑先从PZT片103的背面侧形成供给管道132和排出管道133， 然后在PZT片103的表面侧形成槽的方法，这时，虽然供给管道132和排出管道133的磨削 比较容易，但在形成槽之际，却要求进行高精度的控制。切割刀片通常具有2英寸 4英寸 的直径。例如使用直径为2英寸的切割刀片，形成例如从PZT片103的表面起为350 μ m的 深度的槽时，如果使槽的深度的误差为10 μ m，那么槽的长度的误差就大约达120 μ m，成为 它的12倍。使用直径为4英寸的切割刀片时，对于深度方向的误差而言，长度方向的误差 就大约成为它的16倍。因此，难以使供给管道132和排出管道133的开口端部与槽的长度 方向的端部吻合。若槽的长度方向的端部与供给管道132及排出管道133的外周端部发生 错位，则在油墨通道107的端部仍然会出现油墨的沉淀或滞留的现象，不能发挥本方式的 这样的优点使油墨循环从而防止喷嘴127堵塞。另外，专利文献1的喷墨头100将连接端子134纳入在PZT片103的表面形成的 凹部129中，使上盖125的外面趋于平坦。在连接端子134的下表面形成的电极和在划分 油墨通道107的侧壁的侧壁面形成的电极，通过侧壁面、PZT片103的表面、凹部129的底 面而电连接。在与油墨通道107的长度方向正交的方向高密度地形成多个油墨通道107，需 要使各侧壁的电极互相电性分离。这样，在PZT片103的表面及凹部129的底面也同样需要高密度地分离形成多个电极。可是，特别是凹部1 的底面弯曲，在该弯曲面上形成高精 细的电极图案，需要高超的布图技术。另外，以上讲述了隔一个地独立地同时驱动油墨通道107a、107c、107e的情况。但 是油墨具有导电性时，不能够隔一个地同时驱动油墨通道107a、107c、107e...。就是说，使 用导电性的油墨时，在图9及图10的结构中，高压侧的电极和低压侧的电极就成为电性短 路的状态。因此，不能够在由压电体构成的侧壁上形成所需的电位梯度，因而起先不能够驱 动压本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种液体喷射头，其中包括：喷嘴板，该喷嘴板朝着基准方向排列多个向被记录介质喷射液体的喷嘴；压电板，在该压电板的一个面上朝着与其长度方向正交的基准方向排列多个细长的槽，将所述喷嘴板与另一个面接合；以及盖板，该盖板具有向所述槽供给所述液体的液体供给孔和从所述槽排出所述液体的液体排出孔，在所述压电板以覆盖所述压电板的槽的方式设置；所述压电板的多个细长的槽中较深的深槽和较浅的浅槽交互地邻接，并朝着基准方向排列；所述深槽的长度方向且深度方向的剖面，具有朝着深度方向凸出的凸状，在所述凸状的顶部中，所述深槽和喷嘴连通，所述盖板，关闭在所述压电板的一个面上开口的所述浅槽的开口部，并以连通在所述压电板的一个面开口的所述深槽和所述液体供给孔及所述液体排出孔的方式覆盖。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：小关修，
申请(专利权)人：精工电子打印科技有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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