本发明专利技术提供能够可靠地使岐管具有柔性、并能够对液体排出特性的下降进行抑制的喷液头、喷液头单元及喷液装置。顺序叠层有：并排设置有压力产生室(21)的流路形成基板(22)、设置有连通于多个压力产生室(21)而成为共用液体室的歧管(32)的岐管形成基板(31)、对前述岐管(32)进行密封的柔性基板(50)、和连通于前述压力产生室(21)而设置有喷射液体的喷嘴开口(34)的喷嘴板(35)；在前述柔性基板(50)的与前述岐管(32)相对的区域，设置具有柔性的柔性部(51)；在前述喷嘴板(35)，设置有贯通于与前述柔性部(51)相对的区域的贯通孔(60)。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及从喷嘴开口喷射液体的喷液头、喷液头单元及喷液装置，尤其涉及作为液体排出墨液的喷墨式记录头、喷墨式记录头单元及喷墨式记录装置。
技术介绍
作为喷液头之一例的喷墨式记录头，例如，存在以下喷墨式记录头具备致动器单元和流路单元，所述致动器单元设置有压电元件及压力产生室；所述流路单元具有喷嘴板及歧管形成基板，所述喷嘴板连通于压力产生室并设置有排出墨液的喷嘴开口 ；所述歧管形成基板设置有成为压力产生室的共用的墨液室的歧管。在如此的喷墨式记录头中，提出如下方案通过喷嘴板对歧管进行密封、并使得该喷嘴板的对歧管进行密封的区域为因歧管内的压力变化而变形的柔性部(例如，参照专利文献1)。并且，还具有以下方案在歧管形成基板的底面侧具备设置有柔性部的柔性基板， 所述柔性部因歧管内的压力变化而变形(例如参照专利文献2)。在该专利文献2中，形成使得柔性基板的一部分的厚度变薄的凹部，并通过该凹部来设置柔性部。专利文献1特开2006-95725号公报专利文献2特开2009-208461号公报可是，在如专利文献1那样在喷嘴板设置有柔性部的情况下，因为柔性部的振动原封不动传递到喷嘴开口附近，所以存在对排出方向和/或排出特性产生不良影响的问题。并且，喷嘴板因为设置喷嘴开口所以无法使其较薄，并且，柔性基板为了使柔性部具有柔性而存在要使其比较薄的问题，故存在难以用1块基板兼具作为喷嘴板的功能与作为柔性基板的功能这双方的问题。并且，如专利文献2等，作为柔性基板的柔性部仅设置有凹部，这样无法确保柔性部发生变形的充分空间，无法通过柔性部对歧管内的压力变动进行充分吸收，存在墨液排出特性低下的问题。并且，为了形成具有凹部的结构而使得柔性基板变厚，所以从压力产生室到喷嘴开口的连通部(流路)变长，有时也成为不利于高频驱动的墨液排出特性。
技术实现思路
本专利技术鉴于如此的情形，目的在于提供能够可靠地使岐管具有柔性、并能够对液体排出特性的低下进行抑制的喷液头、喷液头单元及喷液装置。解决上述问题的本专利技术的方式是一种喷液头，其特征在于顺序叠层有并行设置有压力产生室的流路形成基板、设置有连通于多个压力产生室而成为共用液体室的歧管的岐管形成基板、对前述岐管进行密封的柔性基板和连通于前述压力产生室的设置有喷射液体的喷嘴开口的喷嘴板；在前述柔性基板的与前述岐管相对置的区域，设置有具有柔性的柔性部；在前述喷嘴板，设置有贯通于与前述柔性部相对置的区域的贯通孔。在如此的方式中，因为柔性基板与喷嘴板分体构成，所以能够对柔性基板的振动传递到喷嘴开口这一情况进行抑制，能够对在液滴的排出方向和/或排出特性方面造成不良影响这一情况进行抑制。并且，因为能够使柔性基板比较薄，所以能够缩短压力产生室与喷嘴开口的距离、提高液体排出特性。而且，因为不会由于贯通孔而限制柔性部的变形量， 所以能够将歧管内的压力变动通过柔性部充分地进行吸收。在此，优选前述喷嘴板以硅基板或金属板所形成。依照于此，能够高精度地形成喷嘴开口。并且，优选在前述喷嘴板的喷液面侧设置有罩盖头，所述罩盖头设置有使前述喷嘴开口露出的喷嘴开口露出开口部。依照于此，通过罩盖板，能够保护喷嘴板，对喷嘴板的变形和/或损坏进行抑制。而且，本专利技术的其他方式是一种喷液头单元，其特征在于具备多个上述方式的喷液头。在如此的方式中，能够实现提高了喷液特性的喷液头单元。并且，本专利技术的其他方式是一种喷液装置，其特征在于具备上述方式的喷液头单元或喷液头。在如此的方式中，能够实现喷液特性提高了的喷液装置。并且，优选进一步具备对环境温度进行检测的温度检测单元，并具有基于该温度检测单元检测到的环境温度对驱动信号进行校正的控制部，所述驱动信号对于使前述压力产生室内的液体产生压力变动的压力产生单元进行驱动。依照于此，则通过对环境温度进行测定，不用对喷液头内的液体的实际温度进行检测，就能够得到与喷液头内的液体的实际液体温度相同的信息，能够以适于液体实际温度的驱动信号使液体排出。从而，能够降低由于温度变化引起的液体排出特性的不均衡，能够提高印刷质量。附图说明图1是对本专利技术的实施方式1中的记录头的要部形成缺口的立体图。图2是本专利技术的实施方式1涉及的记录头的要部的剖视图。图3是本专利技术的实施方式1涉及的记录头的要部的俯视图。图4是本专利技术的其他实施方式涉及的记录头的俯视图及剖视图。图5是本专利技术的一个实施方式涉及的喷墨式记录装置的概略图。符号说明10喷墨式记录头(喷液头)，20致动器单元，21压力产生室，22流路形成基板，23 振动板，24压力产生室底板，25供给连通孔，30流路单元，31液体供给口形成基板，32歧管， 33歧管形成基板，34喷嘴开口，35喷嘴板，36喷嘴连通孔，37液体供给口，38液体导入口， 39喷嘴连通孔，40压电元件，50柔性基板，51柔性部，60贯通孔，61梁部，70罩盖板具体实施例方式以下基于实施方式详细地对本专利技术进行说明。实施方式1图1是对表示本专利技术的实施方式1中的喷液头之一例的喷墨式记录头的要部形成缺口的立体图，图2是喷墨式记录头的剖视图，图3是喷墨式记录头的要部俯视图。如图示地，本实施方式的喷墨式记录头10包括致动器单元20、和固定该致动器单元20的流路单元30。致动器单元20为具备压电元件40的致动器装置，具有形成有压力产生室21的流路形成基板22、设置于流路形成基板22的一方的面侧的振动板23、和设置于流路形成基板 22的另一方的面侧的压力产生室底板24。流路形成基板22例如由具有150 μ m程度的厚度的氧化铝(Al2O3)和/或氧化锆 (ZrO2)等陶瓷板形成，在本实施方式中，多个压力产生室21沿其宽度方向并排设置。而且， 在该流路形成基板22的一方的面，固定有例如由厚度为10 12 μ m的不锈钢(SUQ薄板形成的振动板23，压力产生室21的一方的面通过该振动板23所密封。压力产生室底板M固定于流路形成基板22的另一方的面侧而对压力产生室21 的另一方的面进行密封，并具有设置于压力产生室21的较长方向的一方端部附近的、使压力产生室21与后述的歧管相连通的供给连通孔25，和设置于压力产生室21的较长方向的另一方端部附近的、连通于后述喷嘴开口 34的喷嘴连通孔沈。而且，压电元件40设置于振动板23上的与各压力产生室21相对的区域的各个。在此，各压电元件40以设置于振动板23上的下电极膜41、按各压力产生室21的各个独立设置的压电体层42、和设置于各压电体层42上的上电极膜43所构成。压电体层 42通过贴附或印刷由压电材料形成的生片所形成。并且，下电极膜41在并排设置的压电体层42的范围内设置而成为各压电元件40的共用电极，作为振动板的一部分而起作用。当然，也可以按各压电体层42的每个设置下电极膜41。还有，作为致动器单元20的各层的流路形成基板22、振动板23及压力产生室底板 24通过将粘土状陶瓷材料、即所谓生片成形为预定厚度，例如穿通设置压力产生室21等之后进行叠层烧制而无需粘接剂地一体化。而且，此后，在振动板23上形成压电元件40。另一方面，流路单元30包括接合于致动器单元20的压力产生室底板M的液体供给口形成基板31、形成成为多个压力产生室21的共用墨液室的歧管32的歧管形成基板 33、设置于歧管形成基板33的与液体供给本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种喷液头，其特征在于，顺序叠层有：流路形成基板，其形成有连通于喷射液体的喷嘴开口的压力产生室；压力产生元件，其使前述喷嘴开口及前述压力产生室内的液体产生压力变化；岐管形成基板，其设置有连通于多个压力产生室而成为共用的液体室的岐管；柔性基板，其对前述岐管进行密封；和喷嘴板，其连通于前述压力产生室，设置有前述喷嘴开口；在前述柔性基板的与前述岐管相对置的区域，设置有具有柔性的柔性部；在前述喷嘴板设置有贯通孔，所述贯通孔贯通于与前述柔性部相对置的区域。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：张俊华，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP
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