【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种太阳能电池等离子刻蚀机的硅片加压装置，属于太阳能电池等离 子刻蚀机的一种夹具。
技术介绍
太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散 工序中形成的硅边缘P-N结去除，否则，将导致电池正负极之间并联电阻过小，漏电流过 大，影响电池的输出特性。在大规模生产中，一般用CF4在高频电场中电离，产物与Si反应 生成SiF4的方式来去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片层叠压紧，否则，硅表面的扩 散层也将会部分去除，从而减小太阳能电池的有效面积，使其短路电流降低。在太阳能电池等离子刻蚀机中，现有的太阳能电池等离子刻蚀夹具，其加压装置 存在不能精确加压的严重问题，加在整叠硅片两侧的压力大小全凭个人经验，既不能准确 控制整叠硅片的压力，也不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控 制产品质量。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供了一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具。它可精 确控制整叠硅片的施加压力大小，制作的太阳能电池边缘几乎看不到刻蚀环的影响，色差非常小。本专利技术所采用的技术方案是本专利技术所述的等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是包括夹具体、立柱螺 杆、复位弹簧、压板、收紧螺母和数控扭力扳手，两根立柱螺杆的下端固定在夹具体上，在两 根立柱螺杆的上段设有螺纹，复位弹簧套装在立柱螺杆的上段，压板套装在两根立柱螺杆 上，并由收紧螺母收紧，收紧螺母由数控扭力扳手定扭矩收紧。进一步，在压板上设有把手。由于整叠硅片放置在夹具体和压板之间，而压板套装在两根立柱螺杆上，并由两 只收紧螺母通过数控扭力扳手进行定...
【技术保护点】
一种等离子刻蚀机硅片定压施压夹具，其特征是：包括夹具体（１）、立柱螺杆（２）、复位弹簧（３）、压板（４）、收紧螺母（５）和数控扭力扳手（６），两根立柱螺杆（２）的下端固定在夹具体（１）上，在两根立柱螺杆（２）的上段设有螺纹，复位弹簧（３）套装在立柱螺杆（２）的上段，压板（４）套装在两根立柱螺杆（２）上，并由收紧螺母（５）收紧，收紧螺母（５）由数控扭力扳手（６）定扭矩收紧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：宋佳，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32
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