一种硅单晶炉的热场系统技术方案

技术编号:6250771 阅读:202 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术涉及一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;还包括设置于上保温盖上面的挡圈;且保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性能,有利于提高最终产品的质量。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于绿色能源太阳能电池
,特别是涉及一种制备单晶硅棒的 硅单晶炉的热场系统。所述的单晶硅棒用于制备太阳能电池单晶硅片。
技术介绍
太阳能是一种取之不尽、用之不竭的绿色能源。太阳能电池是太阳能光伏发电系 统的主要组件,其中单晶硅太阳能电池是目前发展最快的一种太阳能电池。单晶硅片的品 质直接影响着单晶硅太阳能电池的质量,提高单晶硅片的品质是生产高效能太阳能电池的 前提。目前,国内外普遍采用传统直拉生长法生产单晶硅,然后经切割制成单晶硅片。单晶 硅棒生产中,原料的利用率和成品的效能受单晶炉这一关键生产设备的制约,而单晶炉的 热场系统至关重要。现有单晶炉热场的结构存在保温性能和保护气体(Ar)流动性能方面 的缺陷,影响了最终产品质量的提高。
技术实现思路
本技术针对上述现有技术存在的不足,提出了一种硅单晶炉的热场系统,该 热场系统的保温性能和保护气体(Ar)流动性能得到了改善,有利于提高最终产品的质量。本技术解决技术问题所采取的技术方案是一种硅单晶炉的热场系统,包括 加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;所述保温 筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒;所述保温盖包括上保温盖和下保温盖;其特征在 于,还包括挡圈,所述挡圈设置于上保温盖的上面;所述保温层分为上保温套、中保温套和 下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。所述的挡圈为环状,它设置于上保温盖的上面,覆盖了上保温盖外侧与单晶炉炉 腔内壁间的空隙,以阻挡且减少保护气体(Ar)向保温筒外侧与炉腔内壁间的空间流动。所述的保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,采用碳纤维固体毡为保温材 料,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。提高了保温性能,也方便了保 温层设置的操作。本技术中所述导流筒包括内导流筒和外导流筒,所述托杆包括托杆轴和托杆 轴座。本技术还包括托杆护套、石墨电极和电极护套、电极螺丝和电极螺丝盖。本技术的实施,改善了热场系统的保温性能和保护气体(Ar)流动性能,有利 于提高最终产品的质量。附图说明附图为本技术一种实施方式的结构示意图。具体实施方式如附图所示,该硅单晶炉的热场系统,包括加热器1、坩埚2、内导流筒3、外导流筒4、上保温筒5、中保温筒6、下保温筒7、挡圈8、上保温盖9、下保温盖10、上保温套11、中保 温套12、下保温套13、埚托14、托杆轴16和托杆轴座15、托杆护套17、上压片18、下压片19、 石墨电极20和电极护套21、电极螺丝22和电极螺丝盖23。其中挡圈8设置于上保温盖9 的上面;上保温套11、中保温套12和下保温套13分别设置于上保温筒5、中保温筒6和下 保温筒7的外侧。权利要求一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;所述保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒;所述保温盖包括上保温盖和下保温盖;其特征在于,还包括挡圈,所述挡圈设置于上保温盖的上面;所述保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。专利摘要本技术涉及一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;还包括设置于上保温盖上面的挡圈;且保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。改善了热场系统的保温性能和保护气体的流动性能,有利于提高最终产品的质量。文档编号C30B29/06GK201648565SQ20102021852公开日2010年11月24日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年6月4日专利技术者屠勇勇, 李金甫 申请人:浙江芯能光伏科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅单晶炉的热场系统,包括加热器、坩埚、导流筒、保温筒、保温盖、保温层以及埚托、托杆、上压片和下压片;所述保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒;所述保温盖包括上保温盖和下保温盖;其特征在于,还包括挡圈,所述挡圈设置于上保温盖的上面;所述保温层分为上保温套、中保温套和下保温套,分别设置于所述上保温筒、中保温筒和下保温筒的外侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:屠勇勇李金甫
申请(专利权)人:浙江芯能光伏科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:33[]

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