循环蒸镀机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种循环蒸镀机构，包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，副腔体与主腔体连接，长轴贯穿地枢接于副腔体上，长轴的一端与驱动机构连接，另一端与蒸发舟连接，蒸发舟伸入主腔体内并与主腔体密封地枢接，驱动机构通过长轴带动蒸发舟运动；其中一组活动蒸发舟单元在主腔体内进行蒸镀工艺时，另外的活动蒸发舟单元可在其副腔体内更换或添加蒸镀材料，清洁或维护蒸发舟等，完成后再将该蒸发舟送入主腔体进行蒸镀，使蒸镀材料供给和添加及时方便；如此循环交替，使主腔体内不间断的进行蒸镀，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使蒸镀装置的结构简单、操作便捷。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种蒸镀装置，尤其涉及一种可对蒸镀材料及时供给并循环输 入，且能进行连续蒸镀的循环蒸镀机构。
技术介绍
OLED (Organic Light-Emitting Diode，即有机发光二极管)，其最基本的结构包 括阴极、阳极及发光层，发光层形成于阴极与阳极之间，在阴极与阳极之间加适当电压后， 阴极向发光层注入电子，阳极向发光层注入空穴，当电子和空穴达较高的注入密度时，会在 发光层中结合形成大量的激子(即空穴-电子对)，激子由激发状态回落在基础状态时产生 辐射进而发光；为提高有机发光器件的发光效率，必须通过发光层顺畅地输送空穴和电子， 为此在阴极和发光层之间依次形成电子注入层和电子输送层，在发光层与阳极之间依次形 成空穴传输层和空穴注入层，其生产工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳极，在阳极上 依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极；而 在基板上形成薄膜的方法主要有真空蒸镀法、镀离子法及溅射法等物理蒸镀法，还有利用 气体反应的化学气相沉积法等，其中，在有机发光器件的薄膜主要利用真空蒸镀法形成。用于真空蒸镀法的蒸镀装置一般包括真空腔体、抽真空系统及动力传输系统，真 空腔体用于执行蒸镀工艺，该真空腔体与抽真空系统连通，待蒸镀的基板通过动力传输系 统传输到真空腔体内，在真空腔体内设置有蒸发舟，蒸发舟与外界电源连接，当适当的电流 流通到蒸发舟后，蒸发舟因电阻效应产生热量，加热蒸发舟内的蒸镀材料，蒸镀材料到达熔 点后产生蒸气，气化后的蒸镀材料沉积在待蒸镀的基板上行形成薄膜层。然而，现有的蒸镀 装置需要更换、添加蒸镀材料，或需要清洁维护蒸发舟时，需要停止蒸镀工艺，开启真空腔 体后进行更换和维护，不便于蒸镀材料的及时添加，也使操作不够灵活，待更换完蒸镀材料 或维护完蒸发舟后再继续蒸镀工艺，使得蒸镀工艺不能连续进行，降低蒸镀效率。因此，急需一种结构简单、方便蒸镀材料及时供给及循环添加、并能进行连续蒸镀 的蒸镀机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单、方便蒸镀材料及时供给及循环添加、 并能进行连续蒸镀的循环蒸镀机构。为实现上述目的，本技术的技术方案为提供一种循环蒸镀机构，包括主腔 体及至少两组活动蒸发舟单元，所述主腔体与抽真空系统连通，所述活动蒸发舟单元密封 地枢接于所述主腔体上，其中，所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空 结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述 长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入 所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运 动。较佳地，所述主腔体上相对于所活动蒸发舟单元的位置处开设有蒸镀通道，所述 活动蒸发舟单元的蒸发舟穿过所述蒸镀通道并伸入所述主腔体内，所述长轴位于所述主腔 体外；更具体地，所述副腔体上对应所述蒸镀通道的位置处设置有蒸发舟通道，所述蒸发舟 通过所述蒸发舟通道进出所述副腔体。蒸镀过程中需要更换蒸镀材料或需要对蒸发舟进行 维护时，驱动机构通过长轴拉动蒸发舟，蒸发舟通过蒸发舟通道被拉入副腔体内，在副腔体 内进行蒸镀材料的更换或添加，蒸发舟的清洁或维护等，不需要打开主腔体即可方便的进 行蒸镀材料的供给或蒸发舟的维护，操作简单灵活。较佳地，所述主腔体的蒸镀通道处均设置有真空阀门；更具体地，所述真空阀门为 闸板阀。闸板阀具有结构简单、开闭省力、操作精确等优点，使用闸板阀控制蒸镀通道的启 闭，操作简单并能很好的保持主腔体内的真空度。较佳地，所述抽真空系统包括第一抽真空系统及第二抽真空系统，所述第一抽真 空系统与所述主腔体连通，所述第二抽真空系统与所述副腔体连通。蒸发舟在副腔体内添 加蒸镀材料或维护的过程中，或完成上述过程后，第二抽真空系统对副腔体进行抽真空，以 产生与主腔体相适应的真空度，当副腔体内的真空度与主腔体内的真空度相适应时，将蒸 发舟送入主腔体内进行蒸镀工艺，这样减少蒸镀前的等待时间，提高蒸镀效率，同时使主腔 体内的环境一直维持在蒸镀条件下，进而保证较高的蒸镀质量。与现有技术相比，由于本技术蒸镀装置具有至少两组活动蒸发舟单元，所述 活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主 腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所 述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地 枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动；蒸镀过程中，一组活动蒸发舟单元 在主腔体内进行蒸镀工艺时，另一组活动蒸发舟单元可在其副腔体内进行蒸镀材料的更换 或添加，或对蒸发舟进行维护及清洁等，即驱动机构通过长轴将蒸发舟拉入到副腔体内，在 副箱体内对蒸发舟上的蒸镀材料进行更换或添加，或对蒸发舟本身进行清洁维护等，完成 后驱动机构再将该蒸发舟送入主腔体内进行蒸镀工艺，使蒸镀材料供给及时并能方便地添 加；两组以上的活动蒸发舟单元循环交替的更换材料或进行维护，在主腔体内不间断的进 行蒸镀，实现生产的连续性，提高蒸镀效率，同时使蒸镀装置的结构简单、操作便捷。附图说明图1是本技术循环蒸镀机构的结构示意图。具体实施方式现在参考附图描述本技术的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元 件。如图1所示，本技术循环蒸镀机构100包括主腔体110、相互并列设置的活动 蒸发舟单元120、130，主腔体110与抽真空系统及动力传输机构相连通，抽真空系统用于对 主腔体110进行抽真空处理，动力传输机构用于将待蒸镀的基板传输到主腔体110内进行 蒸镀，主腔体110上相对于活动蒸发舟单元120的位置处设置有蒸镀通道111，活动蒸发舟 单元120通过蒸镀通道111枢接于主腔体110上，主腔体110上对于活动蒸发舟单元1304的位置处设置有蒸镀通道112，活动蒸发舟单元130通过蒸镀通道112枢接于主腔体110 上，其中，活动蒸发舟单元120包括驱动机构121、长轴122、副腔体123及蒸发舟124，副腔 体123呈中空结构，副腔体123与主腔体110连接，长轴122水平贯穿副腔体123并枢接 于副腔体123上，长轴122的一端与驱动机构121连接，长轴122的另一端与蒸发舟124连 接，蒸发舟124穿过蒸镀通道111并伸入主腔体110内，长轴122位于主腔体110外，副腔 体123上相对于蒸镀通道111的位置处具有蒸发舟通道，蒸发舟124可通过该蒸发舟通道 出入副腔体123，驱动机构121通过长轴122驱动蒸发舟124运动，使蒸发舟124可由主腔 体110进入到副腔体123，并可由副腔体123进入主腔体110 ；活动蒸发舟单元130包括驱 动机构131、长轴132、副腔体133及蒸发舟134，副腔体133呈中空结构的，副腔体133与主 腔体110连接，长轴133水平贯穿副腔体133并枢接于副腔体133上，长轴133的一端与驱 动机构131连接，长轴133的另一端与蒸发舟134连接，蒸发舟134穿过蒸镀通道112并伸 入主腔体110内，长轴133位于主腔体110外，副腔体133上相对于蒸镀通道112的位置处 具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种循环蒸镀机构，包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，所述主腔体与抽真空系统连通，所述活动蒸发舟单元密封地枢接于所述主腔体上，其特征在于：所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，叶宗锋，郭远伦，刘惠森，范继良，王勇，王曼媛，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]