用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，气体注射器设置在腔壁的上端，承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。本实用新型专利技术在工艺腔室内增加了支撑架，并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑，支撑栓采用点接触，且比较分散，同时，支撑点也不局限于边缘，因而玻璃放在支撑栓上后，热传递慢且传递量小，玻璃表面温差小，因此，镀膜时，玻璃的镀层较为均匀，色差小。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于非晶硅薄膜太阳能电池行业领域，具体涉及一种用于半导体太阳 能镀膜的工艺腔室。技术背景非晶硅薄膜太阳能电池主要由前电极(Front ZnO)、PIN结和背电极(Back ZnO) 薄膜层构成，镀膜工艺是首先将玻璃放在加热室内加热，然后通过机械手将加热好的玻璃 放置到工艺腔室内镀膜。现有的工艺腔室包括腔壁、气体注射器、负载架以及承受器，其中 气体注射器固定在腔壁的顶上，负载架固定在腔壁的侧面上用于放置玻璃，承受器执行向 上移动命令，一方面支撑玻璃同时也给玻璃加热，工艺气体注射器开始喷射。当加热的玻璃 从加热室移到工艺腔室时，玻璃的边缘直接与负载架接触，因而，玻璃的边缘会因快速的热 传导而导致温度降低，使整个玻璃的温度存在温差，导致在镀膜时，玻璃的镀层不均勻，色 差严重。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种镀层效 果好，色差降低的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是一种用于半导体太阳能镀 膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，所述的气体注射器设置在腔壁 的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于还包括一支撑栓底板，该支 撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三 个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所 述的支撑栓上。所数的支撑栓为四个且成矩形布置。所述的支撑栓为五个，包括成矩形布置的四个和居于矩形中间的一个。所述的支撑栓为六个，包括成矩形布置的四个和居于矩形中间的两个。在所述的承受器外侧的腔壁上设置有缓冲层。所述的承受器包括表面层、热量分配层、电阻丝加热层和底部背板层，所述的表面 层与热量分配层可拆分连接。所述的表面层下端面设置凸台，在所述的热量分配层上端面设置凹槽，所说的表 面层嵌合在所述的热量分配层内。所述的承受器还包括陶瓷护套，该陶瓷护套可拆分连接在承受器的外周，且其上 端高于承受器表面层上端面。所述的陶瓷护套与承受器嵌合。所述的表面层为石墨层。与现有技术相比，本技术具有如下优点1、本技术在工艺腔室内增加了支撑架，并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑，支撑栓采用点接触，且比较分散，同时，支撑点也不局限于边缘，因而玻璃放在 支撑栓上后，热传递慢且传递量小，玻璃表面温差小，因此，镀膜时，玻璃的镀层较为均勻， 色差小。2、本技术工艺腔室的承受器采用四层结构，且表面层也是可以在维护过程中 更换的装置，采用石墨材质进行良好的热传递，且承受器表面层设计要比玻璃大，使玻璃放 置在承受器表面层上前后端和左右端各有0. 5毫米的玻璃放置误差距离，这样设计能够使 玻璃的边缘在加热和工艺的过程中受热更加均勻，能有效地控制玻璃边缘温度扩散，对改 善色差有很好的作用。3、本技术在承受器边缘设置陶瓷护套，陶瓷护套设计成陶瓷材质的更换装 置，采用凹凸设计原理，将陶瓷材质的更换装置卡套在承受器的边缘；在维护过程中拆卸和 移除更换的时间大幅减少，能够充分提高工作效率。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术承受器的结构示意图。图3是承受器表面俯视图。具体实施方式以下结合附图，对本技术作详细说明如图1所示，一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁10、气体注射器1 支撑栓底板9、气体缓冲层6以及承受器4，其中气体注射器1设置在腔壁10的上端，承受 器4设置在气体注射器1的下端，支撑架8设置在承受器4的下端，承受器4以支撑架8为 导向，可上下移动，在承受器4的下端还设置有一支撑栓底板9，在支撑栓底板9上设置有至 少三个支撑栓7，根据需要布置，可以三个、四个、五个甚至更多。该至少三个支撑栓7用于 支撑一平面构件；如图2所示，在承受器4上设置有支撑栓孔45，承受器套3在支撑栓上； 承受器4包括表面层41、热量分配层42、电阻丝加热层43、承受器还包括陶瓷护套44和底 部背板护套层45，其中表面层41与热量分配层42采用凹凸的可拆分连接设计，表面层采用 石墨材质，即在表面层下端面设置凸台41，在热量分配层上端面设置凹槽42，承受器还包 括陶瓷护套44，该陶瓷护套44可拆分连接在承受器43的周围，且其上端高于承受器表面层 上端面41，承受器下端为背面可拆分护套45 ；如图3所示，在本实施例中，承受器表面3，支 撑栓孔为6个31，支撑栓也为六个，包括成矩形布置的四个和居于矩形中间的两个。权利要求一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，所述的气体注射器设置在腔壁的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。2.根据权利要求1所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的支 撑栓为四个且成矩形布置。3.根据权利要求1所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的支 撑栓为五个，包括成矩形布置的四个和居于矩形中间的一个。4.根据权利要求1所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的支 撑栓为六个，包括成矩形布置的四个和居于矩形中间的两个。5.根据权利要求1所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于在所述的 承受器外侧的腔壁上设置有缓冲层。6.根据权利要求5所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的承 受器包括表面层、热量分配层、电阻丝加热层和底部背板层，所述的表面层与热量分配层可 拆分连接。7.根据权利要求6所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的表 面层下端面设置凸台，在所述的热量分配层上端面设置凹槽，所说的表面层嵌合在所述的 热量分配层内。8.根据权利要求6所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的承 受器还包括陶瓷护套，该陶瓷护套可拆分连接在承受器的外周，且其上端高于承受器表面 层上端面。9.根据权利要求8所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的陶 瓷护套与承受器嵌合。10.根据权利要求6所述的用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，其特征在于所述的表面层为石墨层。专利摘要本技术公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，气体注射器设置在腔壁的上端，承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。本技术在工艺腔室内增加了支撑架，并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑，支撑栓采用点接触，且比较分散，同时，支撑点也不局限于边缘，因而玻璃放在支撑栓上后，热传递慢且传递量小，玻璃表面温差小，因此，镀膜时，玻璃的镀层较为均匀，色差小。文档编号C23C16/455GK201704402SQ201020179759公开日2011年1月12日 申请日期2010年5月本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，所述的气体注射器设置在腔壁的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，昝圣达，张红星，
申请(专利权)人：江苏综艺光伏有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]