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本实用新型公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，气体注射器设置在腔壁的上端，承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有...
该专利属于江苏综艺光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏综艺光伏有限公司授权不得商用。

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