The invention discloses a chemical vapor deposition device, which comprises a box body and is positioned on the inside of the box frame workpiece, the workpiece frame has a plurality of longitudinally spaced alternately arranged at both sides of the support bracket, wherein the substrate is placed; reaction space between the substrate is provided with at least one inside by a partition for multi channel at least two channels of gas in the channel on both sides of the baffle facing the substrate position are respectively provided with a repeat vent, the reaction gas more than two respectively into the multi-channel reaction space between mixed by the vent flows to the substrate, on the substrate deposition the surface of the film. The reaction device of this invention chemical vapor deposition can not only increase the yield, improve the consistency and uniformity of the deposited film, but also in the desired area selective deposition coating, greatly improves the flexibility and adaptability of process optimization, equipment performance.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光电器件制造
，特别涉及一种化学气相沉积反应设备。
技术介绍
随着能源的日益短缺，可再生绿色能源的开发利用越来越受到人们的关注，尤以 太阳能电池、清洁环保高效光源LED的应用特别受到世人的青睐。太阳能作为清洁、安全、 可持续并且可靠的能源，太阳能光伏(photovoltaic PV)系统正在迅速扩大其在能源和产 业技术开发方面的应用。以单晶硅、多晶硅、非晶硅薄膜等为代表的太阳能电池板在商业和 住宅建筑物等设施中的广泛应用显示出巨大的潜力。特别是薄膜太阳能电池板，以其大面 积、轻薄透明等特点正日趋广泛应用于民用设施建筑等领域的太阳能发电。薄膜太阳能电池是多层器件，不同层在整个结构中具有不同特点和作用。一个典 型的薄膜太阳能电池通常包括玻璃基板、TCO(透明导电氧化物)前电极，具有由P、i和η 型半导体硅薄膜组成的p-i-n结构，背电极以及背玻璃板。掺杂层ρ层和η层在i层之间 建立一个内部电场。基于硅的i层直接将入射光能转换成电能，由前电极和背电极收集。透明导电层通常采用氧化锌(SiO)材料，利用CVD(主要是低压化学气相沉积 LPCVD)工艺...
【技术保护点】
一种化学气相沉积反应设备，包括箱体和位于所述箱体内部的工件架，所述工件架具有纵向间隔交替排列的复数个支架，所述支架两侧放置基板；其特征在于： 所述基板之间的反应空间设置有至少一根内部由隔板分隔为至少两个通道的多通道输气管，在所述隔板两侧通道的面向所述基板的位置分别设置有复述个通气孔，两种以上的反应气体分别进入所述多通道，由所述通气孔流出至基板之间的反应空间混合，在所述基板表面沉积膜层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：单洪青，林朝晖，
申请(专利权)人：福建钧石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：35
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