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平板型太阳能吸热条带镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:10138559 阅读:154 留言:0更新日期:2014-06-18 13:42
本实用新型专利技术涉及平板型太阳能吸热条带镀膜装置,其特征在于镀膜室内设置有工件架和工件卷筒,工件卷筒的形状设置成六棱柱形,工件卷筒设置在上转盘与下转盘之间,工件卷筒的上端通过连接轴与上转盘连接,工件卷筒的下端通过连接轴与下转盘连接,工件卷筒可以绕工件卷筒两端的连接轴旋转,上转盘与下转盘之间通过转盘联接杆连接在一起,下转盘上中间设置有一个十字形的屏蔽板和四个溅射靶,相邻的溅射靶通过十字形的屏蔽板分隔开,下转盘的下面设置有公转盘,在镀膜室的背面设置有真空排气孔,镀膜室内设置真空,镀膜室的一侧还设置有前圆弧门。本实用新型专利技术具有以下优点:1、为间歇式镀膜,设备简单易操作;2、设备价低;3、也可用于中高温集热管镀膜。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及平板型太阳能吸热条带镀膜装置,其特征在于镀膜室内设置有工件架和工件卷筒,工件卷筒的形状设置成六棱柱形,工件卷筒设置在上转盘与下转盘之间,工件卷筒的上端通过连接轴与上转盘连接,工件卷筒的下端通过连接轴与下转盘连接,工件卷筒可以绕工件卷筒两端的连接轴旋转,上转盘与下转盘之间通过转盘联接杆连接在一起,下转盘上中间设置有一个十字形的屏蔽板和四个溅射靶,相邻的溅射靶通过十字形的屏蔽板分隔开,下转盘的下面设置有公转盘,在镀膜室的背面设置有真空排气孔,镀膜室内设置真空,镀膜室的一侧还设置有前圆弧门。本技术具有以下优点:1、为间歇式镀膜,设备简单易操作;2、设备价低;3、也可用于中高温集热管镀膜。【专利说明】平板型太阳能吸热条带镀膜装置
本技术涉及新能源(太阳能)行业,具体的说是一种平板型太阳能吸热条带镀膜装置,应用于家庭用、商用太阳能热水器。
技术介绍
目前平板型太阳能吸热板制备方法为电镀、阳极氧化,这些方法对环境、人体有很大危害。最近几年从国外引进“蓝钛板”,采用真空磁控溅射镀膜方法制备,但设备价格昂贵,国内也有卧式卷绕镀膜,设备价格也高,工艺难控制,产品质量不稳定,很难满足中小企业要求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种平板型太阳能吸热条带镀膜装置,本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:本技术的结构包括前圆弧门、镀膜室、工件架、真空排气孔、上转盘、下转盘、公转盘、转盘联接杆、溅射靶、工件卷筒、屏蔽板,其特征在于镀膜室内设置有工件架和工件卷筒,工件卷筒的形状设置成六棱柱形,工件架由上转盘、下转盘、公转盘、转盘联接杆、溅射靶和屏蔽板组成,工件卷筒设置在上转盘与下转盘之间,工件卷筒的上端通过连接轴与上转盘连接,工件卷筒的下端通过连接轴与下转盘连接,工件卷筒可以绕工件卷筒两端的连接轴旋转,上转盘与下转盘之间通过转盘联接杆连接在一起,下转盘上中间设置有一个十字形的屏蔽板和四个溅射靶,相邻的溅射靶通过十字形的屏蔽板分隔开,溅射靶和屏蔽板的顶端与上转盘接触,下转盘的下面设置有公转盘,在镀膜室的背面设置有真空排气孔,镀膜室内设置真空,镀膜室的一侧还设置有前圆弧门。本技术采用真空磁控溅射镀膜技术,在金属条带表面镀制太阳能选择性吸收涂层,是一种对环境无污染的采用先进工艺技术的镀膜设备,符合能源产业发展方向。该装置由镀膜室、前圆弧门、真空排气孔、溅射靶、屏蔽板、工件架(包括上、下转盘、上下转盘联接杆)、六方工件卷筒组成。镀膜室为真空室,在其背面有真空排气孔,前面是前圆弧门,打开前圆弧门安装溅射靶、屏蔽板、工件架及装卸工件卷筒;关闭前圆弧门抽真空进行磁控溅射镀膜。使用方法:先将需镀膜的金属条带装在六方工件卷筒上,打开前圆弧门六方工件卷筒安装在工件架上,关闭前圆弧门,抽真空,进行溅射镀膜。溅射靶是制备太阳光谱选择性吸收涂层的材料,为了耗材均匀靶管旋转,工件架下转盘为行星式公、自转结构,上下转盘与联接杆组成的工件架完成工件绕溅射靶公转,同时六方工件卷筒自转,以得到均匀的太阳光谱选择性吸收涂层。本技术的有益效果是,本技术具有以下优点:1、为间歇式镀膜,设备简单易操作,工艺稳定,质量可靠;2、设备价低,既能满足中小企业需求,又可根据产量配备机台数量,满足大企业生产需求;3、也可用于中高温集热管(不锈钢管)镀膜。【专利附图】【附图说明】图1:本技术实施例结构示意图。图2:本技术实施例镀膜室结构示意图。图3:本技术实施例工件架结构示意图。图4:本技术实施例工件架与工件卷筒结构示意图。图5:本技术实施例工件架与工件卷筒俯视结构示意图。图中:前圆弧门1、镀膜室2、工件架3、真空排气孔4、上转盘5、下转盘6、公转盘7、转盘联接杆8、溅射靶9、工件卷筒10、屏蔽板11。【具体实施方式】参照【专利附图】【附图说明】对本技术作以下具体的详细说明。如附图所示,本技术的结构包括前圆弧门1、镀膜室2、工件架3、真空排气孔4、上转盘5、下转盘6、公转盘7、转盘联接杆8、溅射靶9、工件卷筒10、屏蔽板11,其特征在于镀膜室2内设置有工件架3和工件卷筒10,工件卷筒10的形状设置成六棱柱形,工件架3由上转盘5、下转盘6、公转盘7、转盘联接杆8、溅射靶9和屏蔽板11组成,工件卷筒10设置在上转盘5与下转盘6之间,工件卷筒10的上端通过连接轴与上转盘5连接,工件卷筒10的下端通过连接轴与下转盘6连接,工件卷筒10可以绕工件卷筒10两端的连接轴旋转,上转盘5与下转盘6之间通过转盘联接杆8连接在一起,下转盘6上中间设置有一个十字形的屏蔽板11和四个溅射靶9,相邻的溅射靶9通过十字形的屏蔽板11分隔开,溅射靶9和屏蔽板11的顶端与上转盘5接触,下转盘6的下面设置有公转盘7,在镀膜室2的背面设置有真空排气孔4,镀膜室2内设置真空,镀膜室2的一侧还设置有前圆弧门I。上面所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述,并非对本技术的构思和范围进行限定,在不脱离本技术设计构思的前提下,本领域中普通工程技术人员对本技术的技术方案作出的各种变型和改进,均应落入本技术的保护范围,本技术请求保护的
技术实现思路
,已经全部记载在权利要求书中。【权利要求】1.平板型太阳能吸热条带镀膜装置,包括前圆弧门(I)、镀膜室(2)、工件架(3)、真空排气孔(4)、上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)、工件卷筒(10)、屏蔽板(11),其特征在于镀膜室(2)内设置有工件架(3)和工件卷筒(10),工件卷筒(10)的形状设置成六棱柱形,工件架(3)由上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)和屏蔽板(11)组成,工件卷筒(10)设置在上转盘(5)与下转盘(6)之间,工件卷筒(10)的上端通过连接轴与上转盘(5)连接,工件卷筒(10)的下端通过连接轴与下转盘(6)连接,工件卷筒(10)可以绕工件卷筒(10)两端的连接轴旋转,上转盘(5)与下转盘(6)之间通过转盘联接杆(8)连接在一起,下转盘(6)上中间设置有一个十字形的屏蔽板(11)和四个溅射靶(9),相邻的溅射靶(9)通过十字形的屏蔽板(11)分隔开,溅射靶(9)和屏蔽板(11)的顶端与上转盘(5)接触,下转盘(6)的下面设置有公转盘(7),在镀膜室(2)的背面设置有真空排气孔(4),镀膜室(2)内设置真空,镀膜室(2)的一侧还设置有前圆弧门(I)。`【文档编号】C23C14/35GK203653685SQ201420025550【公开日】2014年6月18日 申请日期:2014年1月11日 优先权日:2014年1月11日 【专利技术者】崔世娟 申请人:崔世娟本文档来自技高网
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【技术保护点】
平板型太阳能吸热条带镀膜装置,包括前圆弧门(1)、镀膜室(2)、工件架(3)、真空排气孔(4)、上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)、工件卷筒(10)、屏蔽板(11),其特征在于镀膜室(2)内设置有工件架(3)和工件卷筒(10),工件卷筒(10)的形状设置成六棱柱形,工件架(3)由上转盘(5)、下转盘(6)、公转盘(7)、转盘联接杆(8)、溅射靶(9)和屏蔽板(11)组成,工件卷筒(10)设置在上转盘(5)与下转盘(6)之间,工件卷筒(10)的上端通过连接轴与上转盘(5)连接,工件卷筒(10)的下端通过连接轴与下转盘(6)连接,工件卷筒(10)可以绕工件卷筒(10)两端的连接轴旋转,上转盘(5)与下转盘(6)之间通过转盘联接杆(8)连接在一起,下转盘(6)上中间设置有一个十字形的屏蔽板(11)和四个溅射靶(9),相邻的溅射靶(9)通过十字形的屏蔽板(11)分隔开,溅射靶(9)和屏蔽板(11)的顶端与上转盘(5)接触,下转盘(6)的下面设置有公转盘(7),在镀膜室(2)的背面设置有真空排气孔(4),镀膜室(2)内设置真空,镀膜室(2)的一侧还设置有前圆弧门(1)。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:崔世娟
申请(专利权)人:崔世娟
类型:新型
国别省市:山东;37

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