一种三明治复合结构红外热光调制器的制备方法技术

一种三明治复合结构红外热光调制器由基片、FTO透明导电薄膜层和二氧化钒薄膜层组成；制备方法：采用溶胶－凝胶法，先在两片基片上沉积一层FTO透明导电薄膜；然后在其中一片FTO透明导电薄膜上直流磁控溅射金属钒，再通过中温退火得到纳米二氧化钒薄膜层；最后与另一片沉积好FTO透明导电薄膜的基片封装成三明治复合结构的红外热光调制器。本发明专利技术可实现红外波段热光调制，插入损耗低、相变速度为飞秒级，具有功耗低、结构简单、可靠性高、易于制作等优点。可应用于光电子技术领域。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】一种三明治复合结构红外热光调制器由基片、FTO透明导电薄膜层和二氧化钒薄膜层组成；制备方法：采用溶胶－凝胶法，先在两片基片上沉积一层FTO透明导电薄膜；然后在其中一片FTO透明导电薄膜上直流磁控溅射金属钒，再通过中温退火得到纳米二氧化钒薄膜层；最后与另一片沉积好FTO透明导电薄膜的基片封装成三明治复合结构的红外热光调制器。本专利技术可实现红外波段热光调制，插入损耗低、相变速度为飞秒级，具有功耗低、结构简单、可靠性高、易于制作等优点。可应用于光电子
。【专利说明】
本专利技术涉及，用于光电子
。
技术介绍
光调制器是光信息获取和处理系统中关键的器件。为满足信息社会对高速传输的要求，目前人们重点研究的是微机械光调制器。专利【专利技术者】李毅, 郑鸿柱, 袁文瑞, 陈少娟, 陈建坤, 孙瑶, 唐佳茵, 郝如龙, 刘飞, 方宝英, 王小华, 佟国香, 肖寒 申请人:上海理工大学

【技术保护点】
一种三明治复合结构红外热光调制器的制备方法，其特征在于：三明治复合结构的红外热光调制器由基片、FTO透明导电薄膜层和二氧化钒薄膜层组成；采用溶胶－凝胶法，先在两片基片上沉积一层FTO透明导电薄膜；然后在其中一片FTO透明导电薄膜上直流磁控溅射金属钒，再通过中温退火得到纳米二氧化钒薄膜层；最后与另一片沉积好FTO透明导电薄膜的基片封装成三明治复合结构的红外热光调制器；所述的FTO透明导电膜层的前体溶液条件为：水：醇的体积比为4:5，NH4F水溶液，SnCl2溶液，掺杂量F：Sn摩尔比为28:100，聚酰亚胺与前体溶液体积比为1:100，PH值为2.5。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅，郑鸿柱，袁文瑞，陈少娟，陈建坤，孙瑶，唐佳茵，郝如龙，刘飞，方宝英，王小华，佟国香，肖寒，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：