【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于非晶硅薄膜太阳能电池行业领域，具体涉及涉及一种半导体太阳能镀 膜工艺腔室的承受器。技术背景现有的工艺腔室承受器是一个一体式的加热装置，玻璃在承受器上加热并镀膜， 艺腔室气体注射器将镀膜材料垂在玻璃上，有部分则吹在了承受器的上表面，经过一定时 间后，承受器上表面就因沉积坚硬的金属氧化膜而不平整，影响后续玻璃的镀膜效果，为了 提高镀膜效果，就需要人工打磨承受器的上表面，使之平整，但往往费时费力，且长期这样 操作会使承受器边沿凹下去，严重会导致增加玻璃边沿色差发生率，如果采用换一个承受 器的话，则成本太高。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，而提供一种易于更换且 成本低的半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是一种半导体太阳能镀膜工 艺腔室的承受器，包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层，其特征在于在所述的 热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。所述的表面层为石墨层。在所述的加热层下端还设置有底部背板层。与现有技术相比，本技术具有如 下优点本技术在承受器的加热层最上层放置一表面层，当金属氧化膜沉积到一定 量，影响镀膜效果时，可以将表面层拆下，换另一个表面层，十分便捷且不不要付出大量的 劳动力，同时，采用石墨的表面层，石墨具有良好的热传递性能。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术热量分配层2以及表面层1连接分解图。具体实施方式以下结合附图，对本技术作详细说明如图1所示，本技术承受器包括加热层3、热量分配层2以及表面层1，在加热 层的下端设置底部背板层4。在本实施例...
【技术保护点】
一种半导体太阳能镀膜工艺腔室的承受器，包括加热层以及设置在加热层上端的热量分配层，其特征在于：在所述的热量分配层上端还设置有一可拆卸的表面层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，尤长林，李长江，
申请(专利权)人：江苏综艺光伏有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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