The utility model discloses a hydrogen chloride desorption device, including the analytical column, with two and second above the first filler filler and the first filler in the analysis inside the tower is located on the second filler, between the first and second filler filler is provided with a clapboard, also comprises a heat exchanger, wherein the heat exchanger inlet is arranged between the partition plate and the second filler, the heat exchanger gas outlet is arranged between the partition plate and the first filler. The hydrogen chloride product separated by the hydrogen chloride analytical device provided by the utility model is more than 99.9%, and the cost is low and the operation energy consumption is low.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到的是一种用于多晶硅生产对于产生的氯化氢进行解析的装置， 更具体的是，涉及到多晶硅尾气回收的氯化氢解析。
技术介绍
在多晶硅生产过程中，尾气回收系统是用于回收三氯氢硅合成工序、三氯氢硅氢 还原工序及四氯化硅氢化工序产生的尾气。在实际生产过程中三氯氢硅合成工序、三氯氢 硅氢还原工序及四氯化硅氢化工序不能够完全反应，未反应完全的尾气中含有大量的三氯 氢硅、四氯化氢硅、氯化氢、氢气以及二氯二氢硅，尾气回收工序就是利用上述物质的沸点 不同逐一进行分离。分离出来的氯化氢用于三氯氢硅合成工序，氯化氢的纯度可以达到 98. 5%。其中回收氯化氢的方法就是用氯硅烷吸收尾气中的氯化氢，在解析塔加热吸收了 氯化氢的氯硅烷液体，使其中的氯化氢被解析出来。传统的氯化氢解析方法在吸收塔内用氯硅烷把尾气中的氯化氢吸收，吸收了氯 化氢气体的氯硅烷称之为富液，富液从解析塔中部喷淋而下，解析塔底部设有再沸器通过 蒸汽加热氯硅烷使氯硅烷汽化上升，与中部喷淋而下的富液进行充分接触，富液中溶解的 氯化氢被上升的氯硅烷气体带走。在解析塔上部设有回流装置，用于将上升气体中夹带的 氯硅烷冷凝下来，...
【技术保护点】
一种氯化氢解析装置，包括解析塔，在所述解析塔内部设有两第一填料和第二填料且所述第一填料位于所述第二填料的上方，在所述第一填料和第二填料之间设置有隔板，其特征在于，还包括换热器，所述换热器输入口设置在所述隔板与所述第二填料之间，所述换热器的气相输出口设置在所述隔板与所述第一填料之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：宋高杰，杨龙，张伟，叶冬梅，王丽春，
申请(专利权)人：特变电工新疆硅业有限公司，
类型：实用新型
国别省市：65
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