【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到一种镀膜玻璃用真空磁控镀膜室。
技术介绍
传统的镀膜玻璃真空镀膜室采用一个腔室，由于腔室很大，在对这种腔室 进行抽真空时只能设置几个定点的抽气口，在抽气时，外围的空气很快被抽走， 中间的空气再慢慢的流向四周，最后通过抽气孔抽走，这样就会产生真空抽气 不均匀现象，极易造成镀膜膜层的不均匀性。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是将提供一种抽气均匀的镀膜玻璃用真 空磁控镀膜室。为解决上述问题，本技术采用的技术方案是镀膜玻璃用真空磁控镀 膜室，包括腔室，在腔室内设置有三个隔离通道，隔离通道将腔室分割成四 个区域，在每个隔离通道上设置有玻璃输送通道，在构成隔离通道的两侧墙板 上以及构成玻璃输送通道的上、下隔板上开设有抽气孔，在腔室内还设置有两 个抽气通道，抽气通道分布在隔离通道两端并与隔离通道内的空腔相通，抽气 通道的两端与腔室上的抽气口相通。本技术的优点是通过采用隔离通道，从通常两侧抽气创新为上、下、 左、右等多方位对腔室抽气，有效提高了真空抽气的均匀性，防止镀膜室局部 抽气不均匀现象的发生。附图说明图1是本技术所述的镀膜玻璃用真空磁控镀膜室俯视方向的结构原理 示意图2是图1中所述隔离通道的A-A剖视结构放大图。图中1、腔室，2、隔离通道，3、抽气通道，4、空腔，41、墙板，42、 墙板，5、抽气孔，6、玻璃输送通道，61、隔板，62、隔板、7、抽气口。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术所述的技术方案、及其工作原理 和优点作进一步的描述。如图1、图2所示， 一种镀膜玻璃用真空磁控镀膜室，包括腔室1，在腔室l内设置有三个隔离通道2，隔离通道...
【技术保护点】
镀膜玻璃用真空磁控镀膜室，包括：腔室，其特征在于：在腔室内设置有三个隔离通道，隔离通道将腔室分割成四个区域，在每个隔离通道上设置有玻璃输送通道，在构成隔离通道的两侧墙板上以及构成玻璃输送通道的上、下隔板上开设有抽气孔，在腔室内还设置有两个抽气通道，抽气通道分布在隔离通道两端并与隔离通道内的空腔相通，抽气通道的两端与腔室上的抽气口相通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵子东，
申请(专利权)人：苏州新爱可镀膜设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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