检测接触臂的接触部异常的异常检测装置制造方法及图纸

异常检测装置（２００）包括摄像部件（２１０）、不良检测部（２４１）和判断部件（２６０），所述摄像部件（２１０）获取ＴＩＭ（１６７）的图像数据，所述不良检测部（２４１）从由摄像部件（２１０）获取的ＴＩＭ（１６７）的图像数据检测ＴＩＭ（１６７）的不良外观（１６７ａ），所述判断部件（２６０）根据不良检测部（２４１）的检测结果判断ＴＩＭ（１６７）上是否发生异常。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于检测在电子元件测试仪器中将被测试电子元件按压到测试头接 触部的接触臂的接触部异常的异常检测装置、具备该异常检测装置的电子元件测试仪器及 电子元件测试系统，以及异常检测方法。
技术介绍
在半导体集成电路元件等各种电子元件(以下也代表性地称为IC器件)的制造 过程中，电子元件测试仪器被用来测试IC器件的性能和作用等。历来为人们熟知的是，作为构成以SoC(片上系统，System on Chip)等测试时间 相对较短的IC器件为测试对象的电子元件测试仪器的处理器(Handler)，其通过接触臂每 次吸着支承一个IC器件按压向测试头的插口(例如，参照专利文献1)。这种处理器的接触臂具有用于将IC器件按压向插口的推进器，推进器的内部设 有由加热器或冷却器等构成的温调器，用于IC器件的温度控制。而且，为了提高推进器与 IC器件之间的贴合性以降低热阻，推进器的顶端安装有例如由铝箔等构成的TIM(导热材 料，Thermal Interface Material)。由于随着接触臂对IC器件的吸着支承，TIM与IC器件重复贴合和剥离，TIM的表 面会发生损伤或缺损、尘土等异物附着。因此，TIM与IC器件接触规定次数后需要更换成 新的TIM。然而，在推进器顶端不是十分平坦或接触臂倾斜的情况下，会有未经过规定次数， TIM的损伤或缺损就发展得很大的情形。而且，在IC器件有毛刺、尘土多的环境中使用电子 元件测试仪器的情况下，会有未经过规定次数，TIM上就附着很多异物的情形。在TIM上发生这样的异常的情况下，由于无法将推进器与IC器件间的热阻降到足 够低，会有发生不能正确地对IC器件进行温度调节或要花费较多时间达到设定温度等问 题的情形。专利文献日本特开2002-5990号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本专利技术要解决的技术问题在于，提供一种可以在接触臂与被测试电子元件间维持 良好的热传导的异常检测装置、具备该异常检测装置的电子元件测试仪器及电子元件测试 系统，以及异常检测方法。解决问题的方法为了达成上述目的，依据本专利技术的第1观点，提供一种异常检测装置，其在施行被 测试电子元件测试的电子元件测试仪器中，用于检测将所述被测试电子元件按压向测试头 接触部的接触臂与所述被测试电子元件接触的接触部的异常，包括获取所述接触臂的所 述接触部的外观情报的获取单元，根据所述获取单元获取的所述外观情报检测所述接触部的不良外观的不良检测单元，和基于所述不良检测单元的检测结果判断所述接触部是否发 生异常的判断单元(参照权利要求1)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述接触部包括所述接触臂顶端部设有的薄板 状或薄膜状部件或所述接触臂顶端部涂布的液体(参照权利要求2)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述判断单元包括基于规定条件将所述不良检 测单元检测到的所述不良外观分类到复数个不良类别的分类部，对每个所述不良类别的不 良个数计数，生成按类别的实际个数的计数部，和比较每个所述不良类别中预先设定的每 个所述不良类别的不良个数以作为基准的按类别的基准个数与所述计数部生成的所述按 类别的实际个数，并根据比较结果判断所述接触部是否发生异常的比较部(参照权利要求 3)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述比较部在至少一个所述不良类别中的所述 按类别的实际个数比所述按类别的基准个数大的情况下，判断所述接触部发生异常(参照 权利要求4)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述异常检测装置还包括报告单元，所述报告单 元在所述比较部判断所述接触部发生异常的情况下，报告所述接触部异常的信息，或报告 所述接触部异常发生原因的不良类别(参照权利要求5)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述获取单元包括对所述接触部摄像的摄像单 元(参照权利要求6)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述不良检测单元将所述摄像单元拍摄的实际 图像情报中与背景存在规定浓度差的部分确定为所述接触部的不良外观部分(参照权利 要求7)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述分类部根据所述不良检测单元确定的所述 不良外观部分的浓度、形状、位置中的至少一种，将所述不良外观部分分类到相应的所述不 良类别(参照权利要求8)。对上述专利技术无特别限定，优选地，还包括存储所述摄像单元单元预先拍摄的作为 基准的所述接触部的基准图像情报的存储单元，所述不良检测单元对所述摄像单元单元拍 摄的所述实际图像情报与所述存储单元存储的所述基准图像情报进行差分处理生成差分 图像情报，将所述差分图像情报中与背景存在规定浓度差的部分确定为所述接触部的不良 外观部分(参照权利要求9)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述分类部根据所述差分图像情报中所述不良 外观部分的浓度、形状、位置中的至少一种，将所述不良外观部分分类到相应的所述不良类 别(参照权利要求10)。对上述专利技术无特别限定，优选地，还包括照明所述接触部的照明单元(参照权利 要求11)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述照明单元可以对所述接触部照射可见光或紫外线，所述摄像单元单元可以对可见光或紫外线感光(参照权利要求12)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述照明单元具有复数个面向所述接触部相互 从不同角度照明的照明部(参照权利要求13)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述复数个照明部包括面向所述接触部从第1角度照明的第1照明部和面向所述接触部从与所述第1角度不同的第2角度照明的第2照 明部，所述不良检测单元将所述第1照明部照明所述接触部之际所述摄像单元拍摄的第1 实际图像情报中与背景存在第1浓度差且第2照明部照明所述接触部之际所述摄像单元拍 摄的第2实际图像情报中与背景存在第2浓度差的部分确定为所述接触部的不良外观部分 (参照权利要求14)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述分类部根据所述第1实际图像情报中所述 不良外观部分的浓度、形状、位置中的至少一种和所述第2实际图像情报中所述不良外观 部分的浓度、形状、位置中的至少一种，将所述不良外观部分分类到相应的所述不良类别 (参照权利要求15)。对上述专利技术无特别限定，优选地，所述获取单元包括获取三维的所述接触部的外 观情报的三维测量部件(参照权利要求16)。对上述专利技术无特别限定，优选地，还包括在规定时间起动所述获取单元使所述获 取单元获取所述接触部的外观情报，或在规定时间使所述不良检测部检测所述接触部的不 良外观的起动单元(参照权利要求17)。对上述专利技术无特别限定，优选地，还包括对所述被测试电子元件的所述接触部的 接触次数计数或对所述被测试电子元件上发生的规定种类的不良外观的发生次数计数的 计数单元，所述起动单元在所述计数单元的计数达到规定次数的情况下，起动所述获取单 元或使所述不良检测部检测所述接触部的不良外观(参照权利要求18)。对上述专利技术无特别限定，优选地，还包括计量从所述被测试电子元件的测试开始 经过的时间的计时单元，所述起动单元在所述计时单元的计时达到规定时间的情况下，起 动所述获取单元或使所述不良检测部检测所述接触部的不良外观(参照权利要求19)。(2)为了达成上述目的，依据本专利技术的第2观点，提供一种电子元件测试仪器，用 于施行被测试电子元件的测试，包括将所述被测试电子元件按压于测试头接触部的接触臂 和上述异常检测装置(参本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种异常检测装置，在施行被测试电子元件测试的电子元件测试仪器中，用于检测将所述被测试电子元件按压向测试头接触部的接触臂与所述被测试电子元件接触的接触部异常，其特征在于，包括：获取所述接触臂的所述接触部的外观情报的获取单元，根据所述获取单元获取的所述外观情报检测所述接触部的不良外观的不良检测单元，和基于所述不良检测单元的检测结果判断所述接触部是否发生异常的判断单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：市川雅理，池田浩树，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]