自动试验装置及其接口装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够将高速器件高精度地试验的接口装置及自动试验装置。接口装置(200)设置在测试头(130)与DUT(1)之间。在接口装置(200)中，引脚电子IC(400)与DUT(1)之间经由FPC线缆(222)连接。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及自动试验装置的接口装置。

技术介绍

1、在存储器、cpu(central processing unit)等各种半导体器件的检査中使用自动试验装置(ate：automatic test equipment)。ate向试验对象的半导体器件(以下，称为被试验器件(dut))供给试验信号，测定dut对于试验信号的响应，判定dut的良好与否，或者确定不良部位。

2、图1是以往的ate10的框图。ate10具备测试器(也称为测试器主体)20、测试头30、接口装置40、处理器(handler)50。

3、测试器20集中地控制ate10。具体而言，测试器20执行测试程序，对测试头30、处理器50进行控制，收集测定结果。

4、测试头30具备产生向dut1应供给的试验信号、而且检测来自dut的信号(称为器件信号)的硬件。具体而言，测试头30具备引脚电子(pe)32、电源电路(未图示)等。pe32是包含驱动器及比较器(comparator)等的asic(application specific ic)。以往，pe32安装在称为本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种接口装置，其设置在测试头与被试验器件之间，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的接口装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的接口装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的接口装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的接口装置，其特征在于，

6.根据权利要求1～5中任一项所述的接口装置，其特征在于，

7.根据权利要求1或2所述的接口装置，其特征在于，

8.一种自动试验装置，其特征在于，具备：

9.一种自动试验装置，其特征在于，具备：

10.根据权利要求9所述的自动试验...

【技术特征摘要】

1.一种接口装置，其设置在测试头与被试验器件之间，其特征在于，

2.根据权利要求1所述的接口装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的接口装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的接口装置，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的接口装置，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：市川弘毅，藤部亮，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：