【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于输送工件的机器人装置以及设有所述机器人装置 的处理装置，灰化系统和灰化方法。
技术介绍
例如，在用于在一工件(所述工件例如为用于液晶显示器件的玻 璃基板和用于半导体器件的晶片)上形成电路图案等的处理中，必须 在所述工件上完成不同的处理步骤。因而，提出了所谓的多室系统， 在所述多室系统内设置多个处理室，以在每个室同时地或逐步地完成 处理。在于多室系统内处理工件时，机器人装置从供应单元接收未被处 理的工件，并将所述工件供应至一处理室。例如，在所述工件在处理 室内被处理之后，机器人装置从处理室接收工件并将所述工件移送至 下一处理室或将所述工件输送至另一处理单元。这里，为了提高这种处理的生产率，提出了一种适于快速地接收 并供应工件的机器人装置(见专利参考文献l)。然而，近年，在高需求以及需要批量制造的领域中需要生产率的 进一步提高，例如包括不挥发性半导体记忆元件的半导体器件的领域。 因而，即使如专利参考文献1中所公开的技术从生产率提高的角度看 具有问题。专利公开文献l:日本特开平11-135600号公报
技术实现思路
本专利技术待解决的问题本专利技术提供...
【技术保护点】
一种机器人装置，其被构造成移送工件，这是通过将包含用于保持所述工件的保持器具的指部旋转规定的角度而实现的，所述机器人装置包括： 驱动轴，所述驱动轴包含彼此相互间隔的第一指部和第二指部， 所述第一指部包含第一臂部和第二臂部，所述第一臂部和第二臂部从所述第一指部的旋转中心延伸，而所述第一臂部和第二臂部之间具有规定的角度，从而所述第一臂部和第二臂部彼此相互离开，并且 所述第二指部包含第三臂部和第四臂部，所述第三臂部和第四臂部从所述第二指部的旋转中心延伸，而所述第三臂部和第四臂部之间具有规定的角度，从而所述第三臂部和第四臂部彼此相互离开， 在所述第一臂部和所述第三臂部沿所述驱动轴的...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：东野秀史，田部圣裕，
申请(专利权)人：芝浦机械电子株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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