凸轮式阀制造技术

一种凸轮式阀，将包括步进马达以及凸轮机构的促动器沿上下方向微调而能够简单且容易地进行阀的零点调节。一种步进马达驱动型的凸轮式阀（１），在具有流入通路（２ａ）、流出通路（２ｂ）、阀室（２ｃ）以及阀座（２ｄ）的机身（２）内升降自如地配设轴杆（７），利用促动器使上述轴杆（７）下降，所述促动器包括：配设于轴杆的上方位置的步进马达（９）以及将步进马达（９）的旋转运动变换为直线运动而向轴杆（７）传递的凸轮机构（１０），使配设在阀室（２ｃ）内的膜片（３）或者设置在轴杆（７）的下端部的阀体（３０）向阀座（２ｄ）抵接，其特征在于，在覆盖上述机体（２）的阀室（２ｃ）的阀盖（５）上设置升降自如地支承促动器的升降支承机构（１１），在该升降支承机构（１１）上设置微调相对于轴杆（７）的促动器的高度位置的高度微调机构（１２）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种主要夹设在半导体制造设备等的流体供给线及冷却 单元的冷却介质循环回路等中而用于气体及冷却介质等的流体的流量调 节用的技术，特别地，涉及一种能够微小且精密地控制气体及冷却介质等 的流量的步进马达驱动型的凸轮式岡的改良。
技术介绍
以往，作为步进马达驱动型的凸轮式阀，公知有例如公开于实开昭61-117971号公报(参考文献1)及实开昭61-117972号公报(参考文献 2)等中的构造。即，上述凸轮式阀未图示是如下述的装置，包括具有流体通路以及 阀座的阀箱、与阀箱的阀座抵接分离的阀体、向从阀座离开的方向对阀体 施力的弹性体、与阀体连结而被升降自如地支承在阀箱的上盖上的阀杆、 与设置在阀杆的上端部的凸轮滚子抵接而将阀杆推下的凸轮板、旋转驱动 凸轮板的脉沖马达(步进马达)等，利用脉沖马达使凸轮板旋转，经由凸 轮板将阀杆向下方推下，由此使设置在阀杆的下端的阀体向阀座抵接。该步进马达驱动型的凸轮式阀是能够进行高精度的流量控制而获得 优异的实用的效用的装置。使用步进马达的凸轮式阀是如下述的装置，与向步进马达供给的脉冲 数对应而凸轮板旋转既定的角度，通过凸轮板的旋转而阀杆以及阀体微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种步进马达驱动型的凸轮式阀（１），在具有流入通路（２ａ）、流出通路（２ｂ）、阀室（２ｃ）以及阀座（２ｄ）的机身（２）内升降自如地配设轴杆（７），利用促动器使上述轴杆（７）下降，所述促动器包括：配设于轴杆（７）的上方位置的步进马达（９）以及将步进马达（９）的旋转运动变换为直线运动并向轴杆（７）传递的凸轮机构（１０），使配设在阀室（２ｃ）内的膜片（３）或者设置在轴杆（７）的下端部的阀体（３０）向阀座（２ｄ）抵接，该凸轮阀的特征在于，在覆盖上述机体（２）的阀室（２ｃ）的阀盖（５）上设置升降自如地支承促动器的升降支承机构（１１），在该升降支承机构（１１）上设置微调促动器相对于轴杆（７）的高度位置的高...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2006-8-30 232906/20061. 一种步进马达驱动型的凸轮式阀(1)，在具有流入通路(2a)、流出通路(2b)、阀室(2c)以及阀座(2d)的机身(2)内升降自如地配设轴杆(7)，利用促动器使上述轴杆(7)下降，所述促动器包括配设于轴杆(7)的上方位置的步进马达(9)以及将步进马达(9)的旋转运动变换为直线运动并向轴杆(7)传递的凸轮机构(10)，使配设在阀室(2c)内的膜片(3)或者设置在轴杆(7)的下端部的阀体(30)向阀座(2d)抵接，该凸轮阀的特征在于，在覆盖上述机体(2)的阀室(2c)的阀盖(5)上设置升降自如地支承促动器的升降支承机构(11)，在该升降支承机构(11)上设置微调促动器相对于轴杆(7)的高度位置的高度微调机构(12)。2. 如权利要求1所述的凸轮式阀，其特征在于，升降支承机构(ll) 包括安装台(14)，设置在阀盖(5)上；引导轴(16),与轴杆(7 )平 行地立设在安装台(14)上；升降台(17),升降自如地被支承在引导轴(16) 的上端部，安装有包括步进马达(9)以及凸轮机构(10)的促动 器；收纳壳体(18)，安装在引导轴(16)的上端部，包围促动器以及升 降台(17)。3. 如权利要求1所述的凸轮式阀，其特征在于，高...

【专利技术属性】
技术研发人员：土肥亮介，西野功二，池田信一，泽田洋平，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：JP[日本]